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非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測量儀

時間:2026-03-26    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測量儀,屬于機(jī)械精密測量領(lǐng)域,特別是屬于對位移量、振動的精密測量。本發(fā)明采用半導(dǎo)體激光光源,光束經(jīng)鋸齒波調(diào)制,由光纖傳輸,通過參考光與探測光的相位比較得到位移量。本發(fā)明體積小、重量輕,線性動態(tài)范圍大,可抗電磁干擾和抗振動,精度達(dá)0.04μm,可用于靜態(tài)或動態(tài)測量,測量結(jié)果可數(shù)字化處理,便于與計算機(jī)聯(lián)網(wǎng)。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】清華大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88107425.X 【申請日】1988-11-03 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1013304B 【公開公告日】1991-07-24 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1013304B 【授權(quán)公告日】1991-07-24 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G01B11/02 【發(fā)明人】田芊; 徐左; 李達(dá)成; 謝巍 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種非接觸式激光調(diào)頻光纖位移測量儀由半導(dǎo)體激光器、激光調(diào)頻 電源、耦合透鏡、光纖、光纖定向耦合器、光電探測器等部件所組成,其特 征在于還包括光纖測頭,相位檢測器,由所說的激光調(diào)頻電源,對所說的半 導(dǎo)體激光器進(jìn)行調(diào)制,發(fā)出一束調(diào)頻的激光,經(jīng)所說的耦合透鏡進(jìn)入光纖, 再由所說的光纖定向耦合器分成探測光和解調(diào)參考光,所說的探測光的一部 分從所說的光纖測頭端面射出,出射光射到被測物上被測物上被反射回該測 頭,所說探測光的另一部分直接從所說的光纖測頭端面反射,這兩部分光形 成于涉,并有一個被測距離為1的光程差由所說的光電探測器接收,再送入 相位檢測器檢測。 關(guān)注微信公眾號馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【家族被引證次數(shù)】6.0

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