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表面三維形貌非接觸測量儀

時間:2026-03-26    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種表面三維形貌非接觸測量儀,屬 光學(xué)測量儀器,用于測量表面微觀幾何形貌及粗糙 度。本測量儀主要由光源,起偏器,分光棱鏡,顯微物 鏡,1/4波片,檢偏器,光電面陣探測器等組成,與已 有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點在于測量分辨率高,移相 器件的結(jié)構(gòu)簡單,移相精度較高,兩束干涉光通過同 一光路,受到外界干擾相同,對干涉光強(qiáng)影響較小,因 此系統(tǒng)對機(jī)械振動和強(qiáng)度的影響不敏感,在一般生產(chǎn) 環(huán)境中就可以使用本儀器。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】清華大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N89108641.2 【申請日】1989-11-23 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1051975A 【公開公告日】1991-06-05 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1016895B 【授權(quán)公告日】1992-06-03 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號】G01B11/30; G01B9/02 【發(fā)明人】薛實福; 李慶祥; 高宏; 嚴(yán)普強(qiáng) 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種由光源,顯微物鏡,目鏡,光電面陣探測器等組成的表面三維形貌非接觸測量儀,其特征在于所述的測量儀還包括起偏器,分光棱鏡,1/4波片和檢偏器。 (來 自 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng)) 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400000624D 【引證次數(shù)】1.0 【被引證次數(shù)】14.0 【他引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】14.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】15.0

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