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一種水基電子清洗制劑

時間:2026-03-26    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種水基電子清洗制劑,屬于電子工業(yè)清洗生產(chǎn) 技術(shù)領(lǐng)域,它是以乙二胺四醋酸鈉和可溶性氟化物為 主劑,以醇醚和酚醚表面活性劑為清洗劑,以胺皂和 酰胺為增效劑,醇類和去離子水為溶劑,各組分的重 量百分比為:乙二胺四醋酸鈉0.1-1%、醇醚表面活 性劑6-15%、酚醚表面活性劑3-5%、烷基醇酰胺 3-5%、三乙醇胺油酸皂5-10%、醇類1-5%、可溶性 氟化物0.1-1%、去離子水58-81.8%、用這種制劑對 半導(dǎo)體工藝中的材料和器件,薄膜工藝中的玻璃和金 屬的表面清洗,使之有更好的清洗效果。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】孫啟基 【申請人類型】個人 【申請人地址】261041山東省濰坊市東風(fēng)大街43號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濰坊市 【申請人區(qū)縣】濰城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N89106854.6 【申請日】1989-11-11 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1051756A 【公開公告日】1991-05-29 【公開公告年份】1991 【IPC分類號】C11D3/60; C11D1/00; C11D3/04; C11D9/02; C23G5/036; C11D1/835 【發(fā)明人】孫啟基; 丁永發(fā); 戴群; 陳子俊 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種水基電子清洗制劑,屬于電子工業(yè)清洗生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,它是以乙二胺四醋酸鈉和可溶性氟化物為主劑,以醇醚和酚醚表面活性劑為清洗劑,以胺皂和酰胺為增效劑,醇類和去離子水為溶劑,各組分的重量百分比為: 乙二胺四醋酸鈉??0.1-1% 醇醚表面活性劑??6-15% 酚醚表面活性劑??3-5% 烷基醇酰胺??????3-5% 三乙醇胺油酸皂??5-10% 醇類????????????1-5% 可溶性氟化物????0.1-1% 去離子水????????58-81.8% 【當(dāng)前權(quán)利人】孫啟基 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省濰坊市東風(fēng)大街43號 【被引證次數(shù)】17.0 【被他引次數(shù)】17.0 【家族被引證次數(shù)】17.0

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