【摘要】本實用新型是一種微小孔超聲振動鉆削裝置。 其特征是振動主軸輸出端直徑與鉆頭直徑之比 d2dt大于10，高速旋轉(zhuǎn)振動主軸上的換能器正極 的電信號由帶絕緣套的軸承引出，用來代替原有的電 刷。該裝置具有鉆頭裝卸方便，電信號引出簡單等優(yōu) 點
【摘要】 本實用新型是一種光刻機的自動調(diào)焦裝置，屬于 對已有光刻機自動調(diào)焦裝置中的調(diào)平機構(gòu)，調(diào)焦機構(gòu) 的進(jìn)一步改進(jìn)。其特征在于調(diào)平機構(gòu)中，調(diào)平板由一 壓緊裝置固定，分別由螺紋副和電機組成的三個支撐 裝置，活動地支撐著調(diào)平板，由壓電陶瓷驅(qū)動器和彈 性支座以及零位調(diào)節(jié)裝置構(gòu)成調(diào)焦機構(gòu)。本實用新 型調(diào)焦精度提高70％，調(diào)平精度達(dá)1μm，對光刻物體 厚度差的適應(yīng)能力顯著增強，抗干擾能力強，刻線質(zhì) 量好，刻劃周期短，提高工效和成品率。 【專利類型】實用新型 【申請人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】610209四川省成都市雙流350信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】成都市 【申請人區(qū)縣】雙流區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90214965.2 【申請日】1990-09-28 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2073594U 【公開公告日】1991-03-20 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2073594U 【授權(quán)公告日】1991-03-20 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】G03F7/207 【發(fā)明人】吳濯才; 劉業(yè)異; 謝傳缽; 姚漢民; 林大鍵 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種包括光電探測信號處理系統(tǒng)以及調(diào)平機構(gòu)和調(diào)焦機構(gòu)的光刻機自動調(diào)焦裝置，其特征在于：調(diào)平機構(gòu)中，調(diào)平板3由一壓緊裝置4固定，分別由螺紋付5和電機6組成的三個支撐裝置，活動地支撐著調(diào)平板3，由壓電陶瓷驅(qū)動器9和彈性支座以及零位調(diào)節(jié)裝置10構(gòu)成調(diào)焦機構(gòu)。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省成都市雙流350信箱 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000450811820A 【被引證次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】5.0
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