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高分辨率激光衍射測量儀

時(shí)間:2026-03-29    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明是關(guān)于激光衍射精密尺寸的測量儀器。 在這種儀器的遠(yuǎn)場衍射光路中,安裝了光學(xué)空間濾波 器,遠(yuǎn)場衍射光通過濾波器后被送入激光信號分析 儀,分析儀中包括低噪聲微分、非線性補(bǔ)償和計(jì)數(shù)譯 碼等電路。由于儀器中應(yīng)用了這些部件,使儀器的絕 對分辨率達(dá)到了0.0018微米,可對被測工件按尺寸 順序自動(dòng)分類,并給出相應(yīng)的分類信號,此外儀器的 測量精度不受激光功率波動(dòng)等干擾的影響,可解決生 產(chǎn)線上精密工件的測量和分選。 詳見官網(wǎng):www.macrodatas.cn 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】天津港灣工程研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】300222天津市河西區(qū)大沽南路1474號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】天津市 【申請人區(qū)縣】河西區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90103592.0 【申請日】1990-05-22 【申請年份】1990 【公開公告號】CN1048263A 【公開公告日】1991-01-02 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1016095B 【授權(quán)公告日】1992-04-01 【授權(quán)公告年份】1992.0 【IPC分類號】G01B11/02 【發(fā)明人】李明; 張學(xué)山 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 1、一種高分辨率激光衍射測量儀器。儀器中激光器(1)發(fā)出的激光由分光板及全反射棱鏡構(gòu)成的分光器(2)分成強(qiáng)度相等的兩束光,其特征是這兩束光分別通過由電致伸縮陶瓷微位移器(3)、(4)驅(qū)動(dòng)的刀口平尺(5)、(6)與待測工件兩邊緣組成的兩道狹縫,從而形成兩束遠(yuǎn)場衍射光。在與這兩道狹縫距離為L和平面上分別放有兩個(gè)光學(xué)空間濾波器(7)、(8),兩束遠(yuǎn)場衍射光通過這兩個(gè)濾波器后,分別由探測器(9)、(10)接收,并分別通過激光信號分析儀(11)的通道A和通道B送入該分析儀,實(shí)現(xiàn)對工件進(jìn)行測量和按尺寸分類的功能。 【當(dāng)前權(quán)利人】天津港灣工程研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】天津市河西區(qū)大沽南路1474號 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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