【摘要】炮泥機(jī)是生產(chǎn)放炮用炮泥的專用機(jī)械設(shè)備，由電 動(dòng)機(jī)、減速箱、料斗、擠壓破碎滾筒、輸送螺旋輪、攪拌 器、擠壓螺旋輪、擠泥成型器、托滾及電控系統(tǒng)等部份 組成；它的主要用途是，生產(chǎn)圓柱狀長條形炮泥，供煤 礦或冶金礦山等開采爆破作業(yè)中，封閉已
【摘要】 一種開管鋁鎵擴(kuò)散工藝。本發(fā)明是屬于高壓大 電流電力半導(dǎo)體器件生產(chǎn)領(lǐng)域中的一種擴(kuò)散工藝。 該工藝是由在硅片上涂布鋁乳膠源擴(kuò)散和開管鎵擴(kuò) 散同步進(jìn)行為特征的。整個(gè)擴(kuò)散過程是在二氧化硅 乳膠源經(jīng)高溫后形成的氧化膜及氮?dú)?或惰性氣體) 保護(hù)下，于同一擴(kuò)散爐內(nèi)經(jīng)一次高溫連續(xù)完成一次P 型擴(kuò)散的。該工藝簡單靈活，操作容易，穩(wěn)定可靠，擴(kuò) 散雜質(zhì)分布理想，擴(kuò)散參數(shù)可控可調(diào)性好。用該工藝 生產(chǎn)的器件電參數(shù)一致性和動(dòng)態(tài)特性好，其合格率可 提高15-25％，優(yōu)品率可提高20％左右，經(jīng)濟(jì)效益顯 著。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】山東師范大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】250014山東省濟(jì)南市文化東路38號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濟(jì)南市 【申請人區(qū)縣】歷下區(qū) 【申請?zhí)枴緾N90106318.5 【申請日】1990-11-24 【申請年份】1990 【公開公告號(hào)】CN1057364A 【公開公告日】1991-12-25 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1036101C 【授權(quán)公告日】1997-10-08 【授權(quán)公告年份】1997.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/225; H01L21/223; C30B31/00; H01L21/02 【發(fā)明人】林玉松; 劉秀喜; 高大江 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種開管鋁鎵擴(kuò)散工藝，將研磨、清洗干凈的N型硅片進(jìn)行雜質(zhì)源擴(kuò)散，本發(fā)明的特征是將硅片先涂布鋁乳膠源擴(kuò)散，后開管鎵擴(kuò)散，再同時(shí)進(jìn)行鋁、鎵的再分布，整個(gè)擴(kuò)散過程是在二氧化硅乳膠源經(jīng)高溫后形成的氧化膜及氮?dú)?或惰性氣體)保護(hù)下，于同一擴(kuò)散爐內(nèi)經(jīng)一次高溫連續(xù)完成的一次P型擴(kuò)散(鋁鎵預(yù)擴(kuò)與再分布分兩次進(jìn)行也可)，雜質(zhì)源為鋁乳膠源、氧化鎵，反應(yīng)氣體為氫氣。 【當(dāng)前權(quán)利人】山東師范大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省濟(jì)南市文化東路38號(hào) 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1237000049557382XT 【被引證次數(shù)】8.0 【被他引次數(shù)】8.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】8.0
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