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一種新型的掃描隧道顯微鏡體

時間:2026-04-02    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種新型的掃描隧道顯微鏡體,其微調(diào)采用差動 壓縮彈簧,多級齒輪減速和二級調(diào)速步進電機驅(qū)動電 路,提高了調(diào)節(jié)精度。隔振除采用彈簧懸掛式平臺 外,還采用了排斥性磁阻尼,增強了抗外界振動干擾 的能力。試樣支承采用了移動式結(jié)構(gòu),增大了被測試 樣的移動范圍。它能在空氣和液體環(huán)境中工作,因此 可在機械、電子和生物工程等領(lǐng)域中作為微位移機構(gòu) 使用。 【專利類型】實用新型 【申請人】重慶大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】630044四川省重慶市沙坪壩 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】重慶市 【申請人區(qū)縣】沙坪壩區(qū) 【申請?zhí)枴緾N91214028.3 【申請日】1990-12-29 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2089208U 【公開公告日】1991-11-20 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN2089208U 【授權(quán)公告日】1991-11-20 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01J37/02 【發(fā)明人】舒啟清; 王云良; 鄭小林 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種新型的掃描隧道顯微鏡體,是由粗調(diào)裝置,微調(diào)裝置,隔振裝置,試樣支撐裝置及二級調(diào)速驅(qū)動電路組成,其特征在于微調(diào)機構(gòu)是通過由時基電路30,環(huán)行分配器31,功率放大電路32組成二級調(diào)速電機驅(qū)動電路以控制步進電機轉(zhuǎn)速,帶動總減速比為1∶15-50的多級減速齒輪組25減速后使微進傳動螺桿5在微進給螺母座6內(nèi)旋轉(zhuǎn),差動壓縮彈簧8受壓縮,微進給滑動支承9上升,位于微進給滑動支承9錐形孔上的一個鋼球10頂著壓電陶瓷固定板15上的墊塊,以試樣固定基礎(chǔ)板20的探針試樣間隙粗調(diào)旋紐上對稱分布的兩顆鋼球10為支點,支點連線兩側(cè)的支臂比為40∶1,從而使壓電陶瓷固定板15緩慢上升或下降;在微進給傳動齒輪4的下面,限位器座板上面安裝了限位開關(guān)3,限制微進傳動螺桿5的行程;三對互成120°園心角且每對極性相同的磁阻尼器2分別安裝在基痤1和懸吊平臺的電機固定基礎(chǔ)板28上;在壓電陶瓷固定板15上,沿兩個探針試樣間隙粗調(diào)旋紐22上的鋼球支點連線的垂直平分線方向,加工一以該垂直平分線為對稱軸且過板中心的方形槽,槽內(nèi)有一孔用于安裝壓電陶瓷管;在試樣固定基礎(chǔ)板20上與上述方形槽相對應(yīng)的位置有另一方形槽,在槽內(nèi)與壓電陶瓷固定板上的壓電陶瓷管16對應(yīng)位置上加工一階梯形通孔,安裝試樣支承裝置。。 (macrodatas.cn) 【當(dāng)前權(quán)利人】重慶大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】四川省重慶市沙坪壩 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400002697C 【被引證次數(shù)】10.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族被引證次數(shù)】10.0

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