【摘要】省略其它視圖。【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】吳雪飛【申請(qǐng)人類型】個(gè)人【申請(qǐng)人地址】630020四川省重慶市重慶無線電測(cè)試儀器廠【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】重慶市【申請(qǐng)人區(qū)縣】江北區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90302217.6【申請(qǐng)日】19
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體器件生產(chǎn)的專用設(shè) 備。該設(shè)備分為局部?jī)艋液碗姎饪刂乒駜纱蟛糠郑?其中局部?jī)艋野ü饣瘜W(xué)反應(yīng)室，循環(huán)凈化系統(tǒng)， 升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，光源電源箱。電氣控制柜包括 MIC-100型微機(jī)，溫控儀，質(zhì)量流量控制器，浮子流 量計(jì)，氣路顯示板，增壓泵機(jī)組，高效過濾器，高效粒 子撲集器，混合器，冷阱，防腐真空電磁閥，氣體管路 及總電源等部分。具有淀積溫度低，沒有高能離子撞 擊損傷，淀積面積大，操作簡(jiǎn)單，微機(jī)程序控制，節(jié)約 能源等優(yōu)點(diǎn)。 馬-克-數(shù)據(jù) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】西安電子科技大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】710071陜西省西安市太白路2號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】西安市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】碑林區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90203160.0 【申請(qǐng)日】1990-03-17 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN2070037U 【公開公告日】1991-01-23 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2070037U 【授權(quán)公告日】1991-01-23 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/324; H01L21/205; C23C16/00 【發(fā)明人】孫建成 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種光化學(xué)氣相淀積(光CVD)設(shè)備，由凈化室和電氣控制柜兩部分組成，其特征在于凈化室包括光反應(yīng)室，循環(huán)凈化系統(tǒng)，升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和光源電源箱；電氣控制柜包括微型計(jì)算機(jī)，溫控儀，質(zhì)量流量控制器，浮子流量計(jì)，氣路顯示板，增壓泵機(jī)組，高效過濾器，高效粒子撲集器，混合器，冷阱，防腐真空電磁閥，氣體管路及總電源箱。 【當(dāng)前權(quán)利人】西安電子科技大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】陜西省西安市太白路2號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】121000004352307294 【被引證次數(shù)】6.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6.0
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