【摘要】本發(fā)明是一種制備飼料磷酸氫鈣的工藝方法，以普通過(guò)磷酸鈣為原料，經(jīng)熱水溶浸，石灰乳兩次中和制得產(chǎn)品，水溶浸溫度應(yīng)在50℃-80℃，中和之pH值分別控制在2.8-3.2和6.0-6.2之間。由此制得的飼料添加劑含P2O5高于40％，含氟
【摘要】 本發(fā)明涉及一種在半導(dǎo)體器件的光刻過(guò)程中縮小用于形成接觸孔的光刻膠圖案的臨界尺寸，從而允許得到臨界尺寸在90nm以下的接觸孔圖案的方法。所述方法包括a)在襯底上涂覆光刻膠，形成光刻膠層；b)利用具有預(yù)定圖案的掩模對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光；c)在曝光后的光刻膠層上涂布光酸抑制劑；d)對(duì)涂布有光酸抑制劑的光刻膠層進(jìn)行曝光后烘烤；和e)利用顯影劑對(duì)經(jīng)上述處理的光刻膠層進(jìn)行顯影，得到臨界尺寸縮小的接觸孔圖案。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610024870.8 【申請(qǐng)日】2006-03-20 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101042536A 【公開(kāi)公告日】2007-09-26 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100498544C 【授權(quán)公告日】2009-06-10 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】G03F7/20; G03F7/38; G03F1/00; H01L21/027; G03F1/38 【發(fā)明人】崔彰日 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種縮小光刻膠接觸孔圖案的臨界尺寸的方法，該方法包括以下步驟： a)在襯底上涂覆光刻膠，形成光刻膠層； b)利用具有預(yù)定圖案的掩模對(duì)光刻膠層進(jìn)行曝光； c)在曝光后的光刻膠層上涂布光酸抑制劑； d)對(duì)涂布有光酸抑制劑的光刻膠層進(jìn)行曝光后烘烤；和 e)利用顯影劑對(duì)經(jīng)上述處理的光刻膠層進(jìn)行顯影，得到臨界尺寸縮小的接觸孔 圖案。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào); 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)文昌大道18號(hào) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】4.0 【被引證次數(shù)】10 【他引次數(shù)】4.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】8.0 【家族引證次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】12
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://www.duba2008.cn/1775387799.html
喜歡就贊一下
