【摘要】本發(fā)明屬于建筑施工砌筑方法及工具，尤其是磚混結(jié)構(gòu)建筑物的放線砌磚技術(shù)。其特點(diǎn)是將一種標(biāo)定線及相應(yīng)的掛線、校正工具用于放線砌磚過程中，省去了傳統(tǒng)放線方法中用鋼尺、小線反復(fù)測(cè)量找各軸線的中心樁及各部位尺寸的繁瑣做法及砌磚盤角時(shí)五層一靠吊
【摘要】 本發(fā)明提供一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記及其制造方法，主要用 于光刻裝置的掩模和晶片對(duì)準(zhǔn)；該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu) 和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和第二光 柵。該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布 在第一部分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。第一光柵是高階衍射光增強(qiáng)型光柵，并 且其基本周期內(nèi)有一些細(xì)分結(jié)構(gòu)，可以使零級(jí)和偶數(shù)級(jí)次衍射 光斑的能量轉(zhuǎn)移到其它奇數(shù)級(jí)次上，同時(shí)增強(qiáng)多個(gè)奇數(shù)級(jí)次的 衍射光光強(qiáng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記結(jié)構(gòu)緊湊、 能夠提高光刻裝置對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的對(duì)準(zhǔn)精度和工藝適應(yīng)性。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海微電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)張東路1525號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610117227.X 【申請(qǐng)日】2006-10-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1936710A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100456142C 【授權(quán)公告日】2009-01-28 【授權(quán)公告年份】2009.0 【發(fā)明人】徐榮偉; 李鐵軍 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，主要用于光刻裝置的掩模和晶片對(duì)準(zhǔn)；其特征在于，該對(duì)準(zhǔn) 標(biāo)記包括第一部分結(jié)構(gòu)和第二部分結(jié)構(gòu)，其中，第二部分結(jié)構(gòu)包括第一光柵和 第二光柵，該第一光柵的周期和第二光柵的周期互不相同且分別分布在第一部 分結(jié)構(gòu)兩側(cè)。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張東路1525號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310000736664790J 【被引證次數(shù)】36 【被自引次數(shù)】8.0 【家族被引證次數(shù)】36
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