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錳鈷鎳薄膜熱敏材料的制備方法

時(shí)間:2026-04-05    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明書提供了一種濕化學(xué)法制備錳鈷鎳 (MnCoNi)薄膜材料的新型方法,完全改變了傳統(tǒng)的制備工藝。 此方法可以在較低溫度下制備出大面積均勻、穩(wěn)定的MnCoNi 薄膜熱敏材料,并可以與硅工藝兼容,突破傳統(tǒng)陶瓷器件的局 限性,以滿足當(dāng)代航空航天技術(shù)對(duì)該類器件的要求。 來(lái)自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200083上海市玉田路500號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610030144.7 【申請(qǐng)日】2006-08-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1908229A 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100443631C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】C23C18/02; C23C18/08; C23C18/00 【發(fā)明人】侯云; 黃志明; 葛玉建; 蔡愚; 禇君浩 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種錳鈷鎳薄膜熱敏材料的制備方法,其特征在于具體步驟如下: A.前驅(qū)體溶液的配制: 溶質(zhì)采用醋酸錳、醋酸鈷、醋酸鎳,其配比為Mn∶Co∶Ni=47-57∶29-35∶ 14-18(原子比),溶劑使用冰醋酸; 將醋酸鹽按上述比例稱好溶于冰醋酸中,加熱此溶液至30~60℃,并不斷 攪拌直至醋酸鹽完全溶解,最后冷卻至室溫;前驅(qū)體溶液的濃度可以根據(jù)薄膜 單層厚度的需要來(lái)調(diào)節(jié); B.薄膜的制備: 將上述配制好的前驅(qū)體溶液滴到襯底上,用勻膠機(jī)將溶液均勻甩開,勻膠 速度為2000~4000轉(zhuǎn)/分,時(shí)間為15-30秒,勻膠得到濕膜;然后將濕膜與襯底 一起置于快速退火爐中進(jìn)行熱處理,條件為:升溫至150~250℃保持5-10分鐘; 再?gòu)?50~250℃升溫至400~700℃保持6-10分鐘;重復(fù)上述的旋涂勻膠和熱處 理過(guò)程,直至得到所需厚度的薄膜。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市玉田路500號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425005579K 【被引證次數(shù)】17 【被自引次數(shù)】15.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】17

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