【摘要】一種硼磷氧化硅工藝,其特征在于,降低淀積反 應(yīng)物中的硼和磷元素的總濃度,使其小于15摩爾百分比;并 使硼元素和磷元素之比大于2.5。本發(fā)明工藝操作簡單,成本 低,適于大生產(chǎn)?!緦@愋汀堪l(fā)明申請【申請人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司
【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海特毅企業(yè)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201502上海市金山區(qū)興塔鎮(zhèn)亭楓公路6325號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】金山區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630034778.0 【申請日】2006-03-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3607938D 【公開公告日】2007-02-07 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3607938D 【授權(quán)公告日】2007-02-07 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】潘亞平 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海特毅企業(yè)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市金山區(qū)興塔鎮(zhèn)亭楓公路6325號 【專利權(quán)人類型】外商投資企業(yè)
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