【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】上海寺岡電子有限公司【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】201505上海市金山區(qū)亭林工業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)南金公路6058號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】上海市【申請(qǐng)人區(qū)縣】金山區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630038204.0【
【摘要】 本發(fā)明涉及一種光讀出非致冷紅外成像陣列器 件及其制作方法，其特征在于：由硅襯底上一系列像素單元組 成，每個(gè)像素單元的兩個(gè)錨柱立于硅襯底上，支撐像素單元， 兩條絕熱梁一端與錨柱相連接，另一端與“雙材料梁－微鏡一 體化”結(jié)構(gòu)相連接，像素單元與硅襯底之間的間隙構(gòu)成了紅外 吸收共振腔；所述陣列器件的制作是首先首先在硅襯底上制作 出錨柱，然后根據(jù)所選犧牲層腐蝕法用而選擇是否生長(zhǎng)保護(hù)層 和選擇哪種材料作保護(hù)層，然后沉積犧牲層材料和制作結(jié)構(gòu)所 需材料，制作出像素單元圖形后，再腐蝕掉犧牲層材料，進(jìn)行 結(jié)構(gòu)釋放。通過(guò)BMB－MM結(jié)構(gòu)既能實(shí)現(xiàn)紅外敏感，又能調(diào) 制和輸出讀出可見(jiàn)光信號(hào)，提高填充因子并具有較好的熱－機(jī) 械響應(yīng)特性和噪聲等效溫差特性。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請(qǐng)人類(lèi)型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長(zhǎng)寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610030990.9 【申請(qǐng)日】2006-09-08 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1915796A 【公開(kāi)公告日】2007-02-21 【公開(kāi)公告年份】2007 【IPC分類(lèi)號(hào)】B81B7/02; B81C1/00; B81B7/00 【發(fā)明人】楊廣立; 馮飛; 熊斌; 王躍林 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種光讀出非制冷紅外成像陣列器件，其特征在于： 1)由硅襯底上(3)一系列像素單元組成，每個(gè)像素單元由兩個(gè)錨柱(6)、 兩條單層材料的絕熱梁(5)，一個(gè)雙層材料的“雙材料梁-微鏡一體化”結(jié) 構(gòu)(4)和一個(gè)紅外吸收的共振腔(7)構(gòu)成； 2)錨柱(6)立于硅襯底(3)上，支撐像素單元，兩條絕熱梁(5)一 端與錨柱(6)相連接，另一端與“雙材料梁-微鏡一體化””結(jié)構(gòu)(4)相 連接，像素單元與硅襯底之間的間隙構(gòu)成了紅外吸收共振腔(7)； 3)所述的“雙材料梁-微鏡一體化”結(jié)構(gòu)是將雙材料梁與微鏡結(jié)構(gòu)集成 在一起。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】4 【被他引次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】4
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