【摘要】一種賽車模型的可充氣立體球形跑道，包括可充 氣球膽和其上布設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)、順暢的球形跑道，可充氣球膽是由 透明塑膜球體和在其上設(shè)置的充氣嘴、拉鏈?zhǔn)劫愜嚦鋈肟谒M 成。還可包括：由若干單瓣塑片組合而成的呈桔瓣?duì)罱M合的加 強(qiáng)殼；或配套設(shè)置的充
【摘要】 本發(fā)明涉及一種微機(jī)械電容式加速度傳感器及 制作方法，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。其特征在于，最為關(guān)鍵 的就是通過可動(dòng)質(zhì)量塊上下兩面的彈性梁交錯(cuò)分布，不重合， 呈90°交叉或平行分布的設(shè)計(jì)，利用各向異性腐蝕技術(shù)，在 (100)單晶硅片上實(shí)現(xiàn)在無凸角補(bǔ)償下矩形質(zhì)量塊的形成，同時(shí) 在質(zhì)量塊的上下兩面形成直彈性梁結(jié)構(gòu)。利用一般的硅硅鍵合 技術(shù)實(shí)現(xiàn)了三層硅片的鍵合。在上電極和中間電極引出的制作 上，通過可動(dòng)質(zhì)量塊電極引出通孔和屋檐形遮擋臺(tái)在一步淀積 上電極和可動(dòng)電極的引線盤的同時(shí)，也實(shí)現(xiàn)了兩個(gè)電極之間的 電信號(hào)隔離。本發(fā)明簡(jiǎn)化了制作微機(jī)械傳感器的工藝，提高了 成品率，在提高器件靈敏度的同時(shí)也降低了交叉靈敏度，是一 種實(shí)用的加速度傳感器。 來源：百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請(qǐng)人類型】科研單位 【申請(qǐng)人地址】200050上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長(zhǎng)寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610118484.5 【申請(qǐng)日】2006-11-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1959417A 【公開公告日】2007-05-09 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100492016C 【授權(quán)公告日】2009-05-27 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】G01P15/125 【發(fā)明人】熊斌; 范克彬; 車錄峰; 王躍林 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種微機(jī)械電容式加速度傳感器，其特征在于所述的傳感器由可動(dòng) 質(zhì)量塊、直彈性梁、固定上電極、固定下電極、防過載凸點(diǎn)和可動(dòng)質(zhì)量塊電 極引出通孔構(gòu)成，其中， (1)固定上、下電極分別位于可動(dòng)質(zhì)量塊的上下兩邊； (2)直彈性梁的一端與可動(dòng)電極的錨區(qū)相連，另一端與可動(dòng)質(zhì)量塊相連； (3)可動(dòng)質(zhì)量塊上、下兩面的直彈性梁交錯(cuò)分布，不重合； (4)相互平行的電容極板平行于硅片表面； (5)過載保護(hù)的凸點(diǎn)制作在質(zhì)量塊的上下兩表面。 (6)可動(dòng)質(zhì)量塊電極引出通孔的位置在可動(dòng)質(zhì)量塊的錨區(qū)之上。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長(zhǎng)寧區(qū)長(zhǎng)寧路865號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】44 【被自引次數(shù)】9.0 【被他引次數(shù)】35.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】46
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