【摘要】本發(fā)明涉及一種MEMS微型高靈敏度磁場傳感 器及制作方法,其特征在于所述的磁場傳感器是由雙端固置式 MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡、磁性敏感薄膜和雙光纖準(zhǔn)直器構(gòu)成;金屬反 饋電極和磁性敏感薄膜之間形成器件扭轉(zhuǎn)間隙;通過調(diào)節(jié)架, 利用光學(xué)封裝樹脂,
【摘要】 后視圖與主視圖對(duì)稱,省略后視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】劉西偉 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】200040上海市長寧區(qū)延安西路376弄16號(hào)301室 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630045786.5 【申請(qǐng)日】2006-11-24 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN300701135D 【公開公告日】2007-10-17 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN300701135D 【授權(quán)公告日】2007-10-17 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】劉西偉 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】劉西偉 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)延安西路376弄16號(hào)301室
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載:http://www.duba2008.cn/1775442082.html
喜歡就贊一下






