【專利類型】外觀設計【申請人】上海工程技術大學【申請人類型】學?！旧暾埲说刂贰?00336上海市長寧區(qū)仙霞路350號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】長寧區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630040021.2【申請日】2006-08
【摘要】 一種半導體光刻技術領域的基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預定位系統(tǒng)。本發(fā)明中，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調理模塊，信號調理模塊對硅片信息進行調理，調理后的信號連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù)據(jù)采集模塊將信號調理模塊調理后的信號轉換成數(shù)據(jù)，并將轉換后的數(shù)據(jù)輸出到硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數(shù)據(jù)采集模塊轉換的數(shù)據(jù)進行處理，得到運動控制模塊的調整量，并將該調整量輸出到運動控制模塊，運動控制模塊根據(jù)硅片形心缺口計算模塊得到的調整量完成硅片定位的實際操作，限位控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸出到信號處理模塊進行處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時鐘信號。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610148213.4 【申請日】2006-12-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1988127A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100459095C 【授權公告日】2009-02-04 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/68; G03F7/20; G03F9/00; H01L21/67 【發(fā)明人】曹其新; 黃春霞; 劉仁強; 王美玲 【主權項內容】1、一種基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預定位系統(tǒng)，包括：傳感器模塊、信 號調理模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、硅片形心缺口計算模塊、運動控制模塊、限位控制 模塊，其特征在于，傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調理模塊，信號 調理模塊接收硅片信息后對其進行調理，調理后的信號連接到數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù) 據(jù)采集模塊將信號調理模塊調理后的信號轉換成數(shù)據(jù)，并將轉換后的數(shù)據(jù)輸出到 硅片形心缺口計算模塊，硅片形心缺口計算模塊對數(shù)據(jù)采集模塊轉換的數(shù)據(jù)進行 處理，得到運動控制模塊的調整量，并將該調整量輸出到運動控制模塊，運動控 制模塊根據(jù)硅片形心缺口計算模塊得到的調整量完成硅片定位的實際操作，限位 控制模塊對運動控制模塊進行限位診斷和故障排除，運動控制模塊將部分信號輸 出到信號處理模塊進行進一步處理，為數(shù)據(jù)采集模塊提供外部時鐘信號。 【當前權利人】上海交通大學 【當前專利權人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】6 【他引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】6
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