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ZrO2TiN硬質(zhì)納米多層涂層

時(shí)間:2026-04-07    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種ZrO2/TiN硬 質(zhì)納米多層涂層,屬于陶瓷涂層領(lǐng)域。本發(fā)明由 ZrO2層和TiN層交替沉積在硬 質(zhì)合金、陶瓷或金屬基底上形成, ZrO2層的厚度為2~8nm,TiN 層厚為0.4~1.2nm,涂層總厚度為2~5μm。本發(fā)明的 ZrO2/TiN納米多層涂層采用在 氬氣氛中的雙靶濺射技術(shù)在拋光的金屬或陶瓷基體表面交替 沉積ZrO2層和TiN層得到。本 發(fā)明所得的ZrO2/TiN納米多層 涂層不但具有優(yōu)異的高溫抗氧化性,而且具有19.1GPa至 23GPa的硬度。本發(fā)明作為高速切削刀具及其它在高溫條件下 服役耐磨、耐腐蝕工件的涂層,具有很高的應(yīng)用價(jià)值和推廣的 可能性。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610029133.7 【申請(qǐng)日】2006-07-20 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1888124A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100443625C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/06; C23C14/35 【發(fā)明人】李戈揚(yáng); 劉艷; 岳建嶺; 孔明; 戴嘉維 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種ZrO2/TiN硬質(zhì)納米多層涂層,其特征在于,ZrO2層和TiN層形成 在金屬或陶瓷基體上,TiN層的厚度為0.4~1.2nm,ZrO2層的厚度為2.5~8nm, ZrO2/TiN硬質(zhì)納米多層涂層的總厚度為2~5μm。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】5.0 【被引證次數(shù)】19 【他引次數(shù)】5.0 【被他引次數(shù)】19.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】19

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