【摘要】仰視圖無(wú)設(shè)計(jì)要點(diǎn)，省略仰視圖?！緦＠愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】上海長(zhǎng)富玩具有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】201107上海市閔行區(qū)紀(jì)王鎮(zhèn)紀(jì)鶴路2號(hào)【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】上海市【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請(qǐng)?zhí)枴緾N2006
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種晶體硅硅片擴(kuò)散爐，包括：石英管腔體，其兩端設(shè)置有載入、載出端開(kāi)口，并具有氣幕簾和機(jī)械端蓋。石英管腔體載入端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)載入碳化硅槳葉的載入傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。載入碳化硅槳葉上放置有裝載待擴(kuò)散處理晶體硅片的石英舟。在石英管腔體內(nèi)，載入碳化硅槳葉將石英舟放置在與之交錯(cuò)設(shè)置的載出碳化硅槳葉上。載出碳化硅槳葉由石英管腔體載出端的載出傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)。晶體硅片經(jīng)擴(kuò)散處理后，載出碳化硅槳葉從石英管腔體的另一端載出石英舟。從而構(gòu)成一種雙向裝、卸晶體硅片的石英管式擴(kuò)散爐，其硅片的載入和載出可同時(shí)、同方向完成，達(dá)到了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、提高效率，降低成本等有益效果。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】上海太陽(yáng)能科技有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201108上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620042768.6 【申請(qǐng)日】2006-06-13 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN200964448Y 【公開(kāi)公告日】2007-10-24 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN200964448Y 【授權(quán)公告日】2007-10-24 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】C30B31/00 【發(fā)明人】袁曉; 李紅波; 吳庭谷 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種晶體硅硅片擴(kuò)散爐，包括：石英管腔體、氣幕簾和機(jī)械端蓋、 電阻式加熱外套、碳化硅槳葉、石英舟、氣體管道、擴(kuò)散源和控制系統(tǒng)， 其特征在于：所述的石英管腔體兩端設(shè)置有載入和載出端開(kāi)口，兩端開(kāi)口 處分別設(shè)置有氣幕簾和機(jī)械端蓋；所述的碳化硅槳葉包括載入碳化硅槳葉 和載出碳化硅槳葉；載入碳化硅槳葉與載出碳化硅槳葉在石英管腔體中相 交錯(cuò)，其中，載入碳化硅槳葉與石英管腔體載入端的載入傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連接 并受其驅(qū)動(dòng)，載出碳化硅槳葉與石英管腔體載出端的載出傳動(dòng)機(jī)構(gòu)相連接 并受其驅(qū)動(dòng)；所述載入傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和載出傳動(dòng)機(jī)構(gòu)同控制系統(tǒng)相連接，由控 制系統(tǒng)控制載入和載出的時(shí)序。 關(guān)注公眾號(hào)馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海太陽(yáng)能科技有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市莘莊工業(yè)區(qū)申南路555號(hào) 【專利權(quán)人類型】其他有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】9131011263168762XU 【被引證次數(shù)】14 【被他引次數(shù)】14.0 【家族被引證次數(shù)】14
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