【摘要】一種反應(yīng)磁控濺射 TiNSiO2硬質(zhì)納米多層涂層的制 備方法,屬于工模具涂層制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用多靶磁控 濺射涂層制備設(shè)備,在低氣壓的Ar和 N2混合氣氛中,由獨(dú)立的射頻陰 極分別控制金屬Ti靶和化合物 SiO2靶,通過基體在兩
【摘要】 省略其他視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請人】上海麗琴文化用品有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201109上海市閔行區(qū)放鶴路2438號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630033994.3 【申請日】2006-02-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3605426D 【公開公告日】2007-01-31 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3605426D 【授權(quán)公告日】2007-01-31 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】蔡文榮 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海麗琴文化用品有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)放鶴路2438號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國自然人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310000607334752A
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