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用于切削工具的TiNAlON納米多層涂層反應(yīng)磁控濺射制備方法

時(shí)間:2026-04-07    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及的是一種用于切削工具技術(shù)領(lǐng)域的 TiN/AlON納米多層涂層反應(yīng)磁控濺射制備方法。分別采用直 流陰極控制的Ti靶和射頻陰極控制的 Al2O3靶,通過在Ar氣和N2氣的 混合氣氛中的反應(yīng)濺射分別獲得TiN和AlON沉積層,并通過 改變各靶的濺射功率和基片輪流在各靶前的停留時(shí)間獲得具 有成分周期變化的TiN/AlON納米多層涂層。本發(fā)明提供的 TiN/AlON納米多層涂層的反應(yīng)濺射制備技術(shù)具有很高的生產(chǎn) 效率,可以滿足具有高硬度和優(yōu)異抗氧化性能、適用于高速切 削和干式切削涂層的工業(yè)規(guī)?;a(chǎn)的需要。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610116289.9 【申請(qǐng)日】2006-09-21 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1924084A 【公開公告日】2007-03-07 【公開公告年份】2007 【發(fā)明人】孔明; 李戈揚(yáng); 戴嘉維; 黃碧龍; 吳瑩 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種TiN/AlON納米多層涂層的高效率制備技術(shù),其特征在于:分別采 用直流陰極控制的Ti靶和射頻陰極控制的Al2O3靶,通過在Ar氣和N2氣的混合 氣氛中的反應(yīng)濺射分別獲得TiN和AlON沉積層,并通過改變各靶的濺射功率和 基片輪流在各靶前的停留時(shí)間獲得具有成分周期變化的的TiN/AlON納米多層涂 層。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE

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    【摘要】1.后視圖與主視圖對(duì)稱,省略后視圖。 2.本外觀設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)要點(diǎn)在于廚房刀具的刀面齒型?!緦@愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】上海四合不銹鋼制品有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】201101上海市閔行區(qū)七寶鎮(zhèn)第三工業(yè)區(qū)華中路368號(hào)【申

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