【摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅片轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于,可上下移動(dòng)的托盤與托盤升降伺服機(jī)構(gòu)連接,硅片疊層設(shè)于托盤上,至少一對硅片高度位置探測信號(hào)發(fā)送器、硅片高度位置探測信號(hào)接收器分別設(shè)于硅片疊層兩邊的同一水平線上,使得硅片疊層最上面的硅片的起始
【摘要】 1.請求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含有色彩。 2.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請人】上海創(chuàng)博生態(tài)工程有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201612上海市閔行區(qū)廟三路19號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630037670.7 【申請日】2006-06-13 【申請年份】2006 【公開公告號(hào)】CN3625799D 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3625799D 【授權(quán)公告日】2007-03-28 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】江瀚 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海創(chuàng)博生態(tài)工程有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)廟三路19號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310112703128457W
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