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【摘要】 一種微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域的撓性立柱蹺板式雙 層結(jié)構(gòu)微加速度計(jì)。本發(fā)明包括檢測(cè)質(zhì)量塊和定子。定子上分 布左一號(hào)撓性支撐梁、左二號(hào)撓性支撐梁、左三號(hào)撓性支撐梁、 右一號(hào)撓性支撐梁、右二號(hào)撓性支撐梁、右三號(hào)撓性支撐梁， 這些撓性支撐梁是正方柱體，呈環(huán)形分布，檢測(cè)質(zhì)量塊通過(guò)這 些撓性支撐梁支撐置于定子之上。本發(fā)明采用雙層金屬結(jié)構(gòu)， 通過(guò)一體化的微加工工藝制作，結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，工藝可行，并 且利用差分電容法檢測(cè)加速度信號(hào)，根據(jù)力平衡原理通過(guò)靜電 反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，抗沖擊性好，靈敏度高，可廣泛用于航空 航天、汽車工業(yè)、工業(yè)自動(dòng)化及機(jī)器人等領(lǐng)域，具有廣闊的應(yīng) 用前景。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610029691.3 【申請(qǐng)日】2006-08-03 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN1888914A 【公開(kāi)公告日】2007-01-03 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100401071C 【授權(quán)公告日】2008-07-09 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】G01P15/125 【發(fā)明人】張衛(wèi)平; 萬(wàn)明亮; 陳文元 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種撓性立柱蹺板式雙層結(jié)構(gòu)微加速度計(jì)，包括檢測(cè)質(zhì)量塊(1)和定 子(2)，其特征在于： 所述定子(2)包括：基底(3)、絕緣層(4)、下公共電極塊(5)、外環(huán)右 檢測(cè)加矩塊(6)、上公共電極塊(7)、外環(huán)左檢測(cè)加矩塊(8)、外環(huán)右一號(hào)阻 擋柱(9)、外環(huán)右二號(hào)阻擋柱(10)、外環(huán)右三號(hào)阻擋柱(11)、外環(huán)上阻擋柱 (12)、外環(huán)左一號(hào)阻擋柱(13)、外環(huán)左二號(hào)阻擋柱(14)、外環(huán)左三號(hào)阻擋柱 (15)、外環(huán)下阻擋柱(16)、內(nèi)環(huán)右一號(hào)阻擋柱(17)、內(nèi)環(huán)右二號(hào)阻擋柱(18)、 內(nèi)環(huán)左一號(hào)阻擋柱(19)、內(nèi)環(huán)左二號(hào)阻擋柱(20)、內(nèi)環(huán)右檢測(cè)加矩塊(21)、 內(nèi)環(huán)左檢測(cè)加矩塊(22)、右一號(hào)撓性支撐梁(23)、右二號(hào)撓性支撐梁(24)、 右三號(hào)撓性支撐梁(25)、左一號(hào)撓性支撐梁(26)、左二號(hào)撓性支撐梁(27)、 左三號(hào)撓性支撐梁(28)、下公共電極聯(lián)結(jié)梁(29)、上公共電極聯(lián)結(jié)梁(30)、 中心公共電極(31)、中心阻擋柱(32)；所述檢測(cè)質(zhì)量塊(1)包括：左側(cè)扇形 極板(33)、下外環(huán)檢測(cè)極板(34)、右側(cè)扇形極板(35)、上外環(huán)檢測(cè)極板(36)， 左一號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(37)、左二號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(38)、左三號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(39)、 右一號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(40)、右二號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(41)、右三號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(42)、 中心敏感質(zhì)量塊(43)； 以上所述各部件之間的連接關(guān)系如下：基底(3)上放置絕緣層(4)，中心 公共電極(31)放置于定子(2)的中央，內(nèi)環(huán)右檢測(cè)加矩塊(21)、內(nèi)環(huán)左檢 測(cè)加矩塊(22)呈環(huán)形放置于中心公共電極(31)的外圍，下公共電極塊(5)、 外環(huán)右檢測(cè)加矩塊(6)、上公共電極塊(7)、外環(huán)左檢測(cè)加矩塊(8)呈環(huán)形放 置于定子(2)的邊緣，下公共電極聯(lián)結(jié)梁(29)聯(lián)結(jié)中心公共電極(31)和下 公共電極塊(5)，上公共電極聯(lián)結(jié)梁(30)聯(lián)結(jié)中心公共電極(31)和上公共 電極塊(7)，右一號(hào)撓性支撐梁(23)、右二號(hào)撓性支撐梁(24)、右三號(hào)撓性 支撐梁(25)放置于內(nèi)環(huán)右檢測(cè)加矩塊(21)和外環(huán)右檢測(cè)加矩塊(6)之間， 左一號(hào)撓性支撐梁(26)、左二號(hào)撓性支撐梁(27)、左三號(hào)撓性支撐梁(28) 放置于內(nèi)環(huán)左檢測(cè)加矩塊(22)和外環(huán)左檢測(cè)加矩塊(8)之間，外環(huán)左檢測(cè)加 矩塊(8)上分布有外環(huán)左一號(hào)阻擋柱(13)、外環(huán)左二號(hào)阻擋柱(14)、外環(huán)左 三號(hào)阻擋柱(15)，外環(huán)右檢測(cè)加矩塊(6)上分布有外環(huán)右一號(hào)阻擋柱(9)、 外環(huán)右二號(hào)阻擋柱(10)、外環(huán)右三號(hào)阻擋柱(11)，外環(huán)下阻擋柱(16)設(shè)置 在下公共電極塊(5)上，上公共電極塊(7)上設(shè)有外環(huán)上阻擋柱(12)，內(nèi)環(huán) 左一號(hào)阻擋柱(19)、內(nèi)環(huán)左二號(hào)阻擋柱(20)設(shè)置在內(nèi)環(huán)左檢測(cè)加矩塊(22) 上，內(nèi)環(huán)右一號(hào)阻擋柱(17)、內(nèi)環(huán)右二號(hào)阻擋柱(18)設(shè)置在內(nèi)環(huán)右檢測(cè)加矩 塊(21)上，中心阻擋柱(32)設(shè)置在中心公共電極(3)上；左側(cè)扇形極板(33)、 下外環(huán)檢測(cè)極板(34)、右側(cè)扇形極板(35)、上外環(huán)檢測(cè)極板(36)呈一環(huán)形 放置于中心敏感質(zhì)量塊(43)的外圍，左側(cè)扇形極板(33)通過(guò)左一號(hào)極板聯(lián) 結(jié)梁(37)、左二號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(38)、左三號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(39)與中心敏感質(zhì) 量塊(43)相聯(lián)結(jié)，右側(cè)扇形極板(35)通過(guò)右一號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(40)、右二號(hào) 極板聯(lián)結(jié)梁(41)、右三號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(42)與中心敏感質(zhì)量塊(43)相聯(lián)結(jié)， 右一號(hào)撓性支撐梁(23)、右二號(hào)撓性支撐梁(24)、右三號(hào)撓性支撐梁(25)、 左一號(hào)撓性支撐梁(26)、左二號(hào)撓性支撐梁(27)、左三號(hào)撓性支撐梁(28) 的上端分別與右一號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(40)、右二號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(41)、右三號(hào)極板 聯(lián)結(jié)梁(42)、左一號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(37)、左二號(hào)極板聯(lián)結(jié)梁(38)、左三號(hào)極板 聯(lián)結(jié)梁(39)相接觸。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】3 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】3

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