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【摘要】 本實(shí)用新型公開一種三維電子散斑干涉儀，包括 儀器框架和安裝在框架上的儀器，所述儀器包括：至少一激光 器、一第一旋轉(zhuǎn)反射鏡、W場(chǎng)光路、U場(chǎng)光路、V場(chǎng)光路、以 及一干涉接收機(jī)構(gòu)；其中包括U場(chǎng)、V場(chǎng)、W場(chǎng)光路的出射 光互相正交，每個(gè)場(chǎng)光路上都設(shè)置有用于時(shí)間相移的相移器和 用于空間相移的載波片及其步進(jìn)電機(jī)。本實(shí)用新型通過(guò)三個(gè)場(chǎng) 光路分別獲得獨(dú)立的 U場(chǎng)、V場(chǎng)、W場(chǎng)位移分量，既簡(jiǎn)化了程序運(yùn)算，又能獲得更 高的精確度，同時(shí)可以采用時(shí)間相移方法或者空間相移方法測(cè) 量被測(cè)物的三維位移量，實(shí)現(xiàn)三維直接測(cè)量結(jié)果數(shù)字化。 馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一一研究所 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】200011上海市南江路18號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】黃浦區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620039994.9 【申請(qǐng)日】2006-03-08 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN2881538Y 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2881538Y 【授權(quán)公告日】2007-03-21 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】陸鵬; 張熹; 吳君毅; 夏遠(yuǎn)富; 艾鋼; 曾憲友; 鄭長(zhǎng)江; 顧愛中 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種三維電子散斑干涉儀，包括儀器框架和安裝在框架上的儀器，其特征 在于，所述儀器包括：至少一激光器、一第一旋轉(zhuǎn)反射鏡、W場(chǎng)光路、U場(chǎng)光路、 V場(chǎng)光路、以及一干涉接收機(jī)構(gòu)； 所述激光器發(fā)出特定波長(zhǎng)的單模激光； 所述第一旋轉(zhuǎn)反射鏡設(shè)于所述激光器光路上，使從激光器發(fā)射的激光反射 至W場(chǎng)光路、或U場(chǎng)光路、或者V場(chǎng)光路； 所述干涉接收機(jī)構(gòu)設(shè)于儀器框架中心，與被測(cè)物表面正對(duì)； 所述W場(chǎng)光路包括： 一分光元件，設(shè)于第一旋轉(zhuǎn)反射鏡反射光路上，將激光分為兩束； W場(chǎng)的時(shí)間相移光路，包括設(shè)置在分光元件的透射光路上的第一擴(kuò)束鏡、 分光鏡以及用于引導(dǎo)光束的一第二旋轉(zhuǎn)反射鏡和至少一反射鏡；所述分光鏡設(shè) 于干涉接收機(jī)構(gòu)與被測(cè)物表面之間，將光束分別透射和反射給被測(cè)物表面和一 參考面，并將被測(cè)物表面和參考面的反射光分別透射和反射給干涉接收機(jī)構(gòu)； W場(chǎng)的時(shí)間相移光路還包括一W場(chǎng)相移器，其設(shè)于所述參考面后； W場(chǎng)的空間相移物光光路，包括一第二擴(kuò)束鏡和一設(shè)于第二擴(kuò)束鏡出射光 路上的W場(chǎng)載波片；所述擴(kuò)束鏡將第二旋轉(zhuǎn)反射鏡的反射光擴(kuò)束后，經(jīng)W場(chǎng) 載波片照射所述被測(cè)物表面； W場(chǎng)空間相移參考光路，包括設(shè)置在分光元件的反射光路上的雙偏振片、 光閘、一第三擴(kuò)束鏡、一漫射鏡以及用于引導(dǎo)光束的多個(gè)反射鏡；從所述第三 擴(kuò)束鏡透射的激光經(jīng)所述漫射鏡射至所述干涉接收機(jī)構(gòu)； 所述U場(chǎng)光路包括：一分光鏡、第一、第二擴(kuò)束鏡和用于引導(dǎo)光束的多個(gè) 反射鏡；所述多個(gè)反射鏡包括對(duì)稱設(shè)于儀器框架左右兩側(cè)的第一反射鏡和第二 反射鏡，所述多個(gè)反射鏡將自分光鏡透射和反射的光分別自第一反射鏡和第二 反射鏡射出，并匯聚到所述被測(cè)物表面，所述第一、第二擴(kuò)束鏡分別設(shè)于所述 第一反射鏡和第二反射鏡的入射光路上；U場(chǎng)光路還包括：U場(chǎng)相移器，設(shè)于 第一反射鏡后；U場(chǎng)載波片，設(shè)于第二反射鏡和第二擴(kuò)束鏡之間； 所述V場(chǎng)光路包括：一分光鏡、第一、第二擴(kuò)束鏡和用于引導(dǎo)光束的多個(gè) 反射鏡；所述多個(gè)反射鏡包括對(duì)稱設(shè)于儀器框架上下兩側(cè)的第一反射鏡和第二 反射鏡，所述多個(gè)反射鏡將自分光鏡透射和反射的光分別自第一反射鏡和第二 反射鏡射出，并匯聚到所述被測(cè)物表面，所述第一、第二擴(kuò)束鏡分別設(shè)于所述 第一反射鏡和第二反射鏡的入射光路上；V場(chǎng)光路還包括：V場(chǎng)相移器，設(shè)于 第一反射鏡后；V場(chǎng)載波片，設(shè)于第二反射鏡和第二擴(kuò)束鏡之間； 所述W場(chǎng)載波片、U場(chǎng)載波片、V場(chǎng)載波片各與一步進(jìn)電機(jī)傳動(dòng)相連。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一一研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市南江路18號(hào) 【被引證次數(shù)】2 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2

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