【摘要】一種選擇性鎳系加氫催化劑，以氧化鋁為載體，以催化劑重量為100％計，含有氧化鎳12～20％，氧化鑭和或氧化鈰2～8％，VIB元素氧化物2～8％，催化劑比表面60～200m2g，孔容0.4～0.7mlg。本發(fā)明還提供一種該催化劑的制備
【摘要】 本實用新型公開了一種智能化光學薄膜全自動監(jiān)控系統(tǒng)，包括：光源發(fā)射系統(tǒng)、聚光鏡、小孔光闌、監(jiān)控片、反射鏡、光譜儀和晶控儀，監(jiān)控片設置在真空室內，光源發(fā)射系統(tǒng)引出兩路光信號，一路直接導入一單色儀，另一路依次通過聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到真空室內，并在監(jiān)控片上形成光斑，由一光接收系統(tǒng)接收后，再分別導入單色儀和寬光譜儀。本實用新型把單波長光學監(jiān)控法、晶控法、寬光譜光學監(jiān)控法的監(jiān)控裝置復合在一起，協(xié)調工作，在鍍膜的過程中實時地提供薄膜的多方位信息，實時地修正后續(xù)膜層參數(shù)及制備條件，用于實時地、全自動地修正膜層誤差的影響。。微信 【專利類型】實用新型 【申請人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【申請人類型】企業(yè),個人 【申請人地址】100070北京市豐臺科技園區(qū)航豐路8號科研樓329室(園區(qū)) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】豐臺區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620113727.1 【申請日】2006-05-09 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2911757Y 【公開公告日】2007-06-13 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2911757Y 【授權公告日】2007-06-13 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G05D5/03; C23C14/54; C23C16/52; G05D5/00 【發(fā)明人】賈秋平; 張喆民; 盧維強 【主權項內容】1、一種智能化光學薄膜全自動監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于，包括：光源 發(fā)射系統(tǒng)、聚光鏡、小孔光闌、反射鏡、監(jiān)控片、光譜儀和晶控儀，監(jiān) 控片設置在真空室內，所述光源發(fā)射系統(tǒng)引出兩路光信號，一路直接導 入一單色儀，另一路依次通過所述聚光鏡、小孔光闌和反射鏡后入射到 所述真空室內，并在所述監(jiān)控片上形成光斑，由一光接收系統(tǒng)接收后， 再分別導入所述單色儀和寬光譜儀；由所述單色儀出來的光經(jīng)過一A/D 模數(shù)采集卡轉換后，由一單片機進行初步處理，并通過一網(wǎng)絡交換系統(tǒng) 傳輸?shù)揭辉O置有數(shù)據(jù)處理軟件的PC機上；所述晶控儀將幾何厚度、沉積 速率等信息通過所述網(wǎng)絡交換系統(tǒng)傳輸?shù)剿鯬C機上；所述寬光譜儀接 收的信號傳給所述PC機。 【當前權利人】北京奧博泰科技有限公司; 賈秋平; 張喆民 【當前專利權人地址】北京市豐臺科技園區(qū)航豐路8號科研樓329室(園區(qū)); ; 【專利權人類型】有限責任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91110106775475685M 【被引證次數(shù)】10 【被他引次數(shù)】10.0 【家族被引證次數(shù)】10
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