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離子注入方法改善鈷鉻薄膜的磁性

時(shí)間:2026-03-25    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本發(fā)明是一項(xiàng)用離子注入并配合真空退火而組成的新方法,它可以用于改善濺射方法制備的Co-Cr合金薄膜的磁學(xué)性能,使之達(dá)到作為高密度垂直磁記錄介質(zhì)的技術(shù)指標(biāo)。本方法具有良好的重復(fù)性。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請(qǐng)人】清華大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N87104390.4 【申請(qǐng)日】1987-06-25 【申請(qǐng)年份】1987 【公開公告號(hào)】CN1014007B 【公開公告日】1991-09-18 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1014007B 【授權(quán)公告日】1991-09-18 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】G11B5/85; C23C14/48; C23C14/58; G11B5/848 【發(fā)明人】柳百新; 李健; 李恒德 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一項(xiàng)改善Co-Cr合金薄膜磁學(xué)性能的方法,其特征在于對(duì)濺射制備的Co- Cr合金薄膜,用惰性氣體離子注入,注入的離子所攜帶能量在100~600Kev之 間,離子束流強(qiáng)度在1~4μA/cm2,劑量在1×1015~7×1016離子/Cm2之間, 注入后進(jìn)行真空退火,溫度在80~340℃之間,退火時(shí)間為30分鐘。 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華園 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000624D 【引證次數(shù)】1.0 【他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】2.0

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