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三氯氫硅(SiHCl3)的制備

時(shí)間:2026-03-25    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 5 ) 次

【摘要】 SiHCl3(三氯氫硅)是制備高純多晶硅的主要原料。以往SiHCl3的合成是采用HCl氣體通入到加熱的硅粉中來制備,用固定床反應(yīng)時(shí)SiHCl3的產(chǎn)率只有60-70%。用沸騰床反應(yīng)時(shí)可使SiHCl3的產(chǎn)率提高到80-90%,其余主要為SiCl4副產(chǎn)物。由于用SiCl4氫還原制備高純多晶硅時(shí)耗能較多,一般硅材料廠將SiCl4作為廢物排出,這除了使硅粉和HCl氣體的利用率低外,還嚴(yán)重地污染環(huán)境。本發(fā)明就是利用反應(yīng)時(shí)排出的廢物SiCl4作為原料,再與HCl一起通入到加熱的硅粉中,通過調(diào)節(jié)SiCl4通入量的大小,來控制SiHCl3的收率,直至達(dá)到100%。本發(fā)明提出的方法簡單易行,凡生產(chǎn)硅材料的工廠或其它有SiCl4副產(chǎn)物排出的工廠均可利用。 來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】張崇玖 【申請人類型】個(gè)人 【申請人地址】江蘇省南通市易家橋新村20號(hào)樓305號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】南通市 【申請人區(qū)縣】崇川區(qū) 【申請?zhí)枴緾N87100535.2 【申請日】1987-01-24 【申請年份】1987 【公開公告號(hào)】CN1011878B 【公開公告日】1991-03-06 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1011878B 【授權(quán)公告日】1991-03-06 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】C01B33/107; C01B33/08 【發(fā)明人】張崇玖 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.三氯氫硅(SiHCl3的合成方法,采用HCl氣 體通入到加熱的硅粉中來制備,本發(fā)明的特征是: 在通入HCl到加熱硅粉的同時(shí),增加通入SiCl4, 由調(diào)節(jié)SiCl4的通入量來控制SiHCl3的收率。 來自:馬 克 團(tuán) 隊(duì) 【當(dāng)前權(quán)利人】張崇玖 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】江蘇省南通市易家橋新村20號(hào)樓305號(hào) 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】7.0

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