【摘要】一種酒敏元件及其制作方法，以偏錫酸鋅為基體，加上其它原料，按一定的配方，根據(jù)一定的加溫、恒溫等燒結(jié)工藝制成偏錫酸鋅酒敏元件。利用本發(fā)明制成的酒敏元件，對乙醇?xì)怏w具有較好的選擇性，且靈敏度高。從而解決了現(xiàn)行一般氣敏元件對乙醇?xì)怏w選擇性
【摘要】 一種應(yīng)用于氫冷發(fā)電機(jī)漏氫監(jiān)測裝置中的新型氫敏半導(dǎo)體器件，是由集成在一個硅片上的氫氣測量管，加熱電阻和控溫二極管組成。該器件共四根引線，漏極與柵極共用一根，源極、加熱電阻R2端、控制二極管P極共用一根，其它為單獨引出。該器件制造方法的特征在于，它是在磷蒸氣保護(hù)下進(jìn)行柵極氧化，用直流高壓濺射氧化鋁層和鈀金屬層，并對制好硅片進(jìn)行高溫退火處理。用該方法制得的器件，靈敏度高，氫氣測量范圍寬，器件穩(wěn)定可靠。 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】北京工業(yè)大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】北京市東郊九龍山北京工業(yè)大學(xué) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88102659.X 【申請日】1988-05-11 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1011453B 【公開公告日】1991-01-30 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1011453B 【授權(quán)公告日】1991-01-30 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L49/00; G01N27/12 【發(fā)明人】鄒德恕; 王東鳳 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種用于氫冷發(fā)電機(jī)漏氫監(jiān)測裝置中的氫敏半導(dǎo)體器件，是 由集成在一個硅片上的氫氣測量管，加熱電阻和控溫二極管組成，本 發(fā)明的特征在于，該器件共有四根電極引線，氫氣測量管中的漏極D1 和柵極G1共用一根引出線，測量管中的源極S1、加熱電阻其中的一 個引線電極R2極和控溫二極管中的P極相聯(lián)結(jié)在一起，共用一根引 出線，加熱電阻的另一個引線電極R1極及控溫二極管的N極均單獨 使用一根引出線。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京工業(yè)大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市東郊九龍山北京工業(yè)大學(xué) 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】12110000400687411U 【家族被引證次數(shù)】1.0
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