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復(fù)合式分子泵

時間:2026-03-26    作者:admin 點擊: ( 6 ) 次

【摘要】 一種復(fù)合式分子泵,由渦輪分子泵級與復(fù)合排氣系統(tǒng)串聯(lián)而成。其復(fù)合排氣系統(tǒng)由外側(cè)圓周上是渦輪短葉齒,內(nèi)側(cè)圓盤面上為抽氣溝槽的復(fù)合式動葉輪與靜葉輪相匹配,并同圓柱螺旋齒動隔離環(huán)復(fù)合而成。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡便,運行安全可靠,工作范圍及真空性能大大超過了渦輪分子泵,可滿足化工、半導(dǎo)體、微電子、核電子、能源、宇航等領(lǐng)域的等離子研究課題物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積的需要。 詳見官網(wǎng):www.macrodatas.cn 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】中國科學(xué)院北京真空物理實驗室 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村2724信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88104185.8 【申請日】1988-07-12 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1012518B 【公開公告日】1991-05-01 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1012518B 【授權(quán)公告日】1991-05-01 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】F04D19/04; F04D19/00 【發(fā)明人】朱岳; 王孝珍; 龐世瑾 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種復(fù)合式分子泵,由渦輪分子泵級與復(fù)合 排氣系統(tǒng)串聯(lián)而成,該渦輪分子泵級設(shè)置在泵殼內(nèi) 靠近入口端,由交錯排列的渦輪動葉輪和渦輪靜葉 輪組成,渦輪動葉輪固定在轉(zhuǎn)軸上,渦輪靜葉輪固 定在泵殼內(nèi),該復(fù)合排氣系統(tǒng)設(shè)置在泵殼內(nèi)靠近出 口端,其特征在于該復(fù)合排氣系統(tǒng)具有交錯排列的 帶渦輪短葉齒的動葉輪和靜葉輪,所述的動葉輪固 定在同一轉(zhuǎn)軸上,所述的靜葉輪固定在泵殼內(nèi),相 鄰的所述動葉輪由固定在同一轉(zhuǎn)軸上的動隔離環(huán)間 隔開,所述動葉輪內(nèi)側(cè)盤面上設(shè)有抽氣溝槽。所述 動隔離環(huán)圓周表面設(shè)有圓柱螺旋齒。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院北京真空物理實驗室 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村2724信箱 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】1.0 【自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】9.0

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