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采用二氧化硅隔離結(jié)構(gòu)的壓力傳感器

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 5 ) 次

【摘要】 本實(shí)用新型屬半導(dǎo)體壓力傳感器領(lǐng)域。包括硅 芯片、安裝芯片的底板和管座,引出線等,壓阻器件與 硅襯底之間有由多孔硅氧化法獲得的二氧化硅介質(zhì) 層作為隔離層。該隔離層隔離性能優(yōu)良,漏電流甚 微,兩個(gè)分離器件間的擊穿電壓超過200伏,該傳感 器既保持了單晶硅型壓力傳感器的高靈敏度特性,又 可在高溫環(huán)境下工作。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】復(fù)旦大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200433上海市邯鄲路220號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】普陀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89214652.4 【申請(qǐng)日】1989-07-25 【申請(qǐng)年份】1989 【公開公告號(hào)】CN2069171U 【公開公告日】1991-01-09 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2069171U 【授權(quán)公告日】1991-01-09 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】H01L49/00; G01L1/18; G01L9/06 【發(fā)明人】趙甘鳴; 黃宜平; 鮑敏杭 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種硅半導(dǎo)體壓力傳感器,包括硅芯片、安裝芯片的底板與管座、引出線,其特征在于制作在硅芯片上的壓阻器件與硅襯底之間有二氧化硅隔離層,該隔離層寬度為8-50微米,深度為2-5微米。 【當(dāng)前權(quán)利人】復(fù)旦大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市邯鄲路220號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006117P 【被引證次數(shù)】7.0 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7.0

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    【摘要】本技術(shù)方案是在不拆除原建筑的情況下采用框 架結(jié)構(gòu)加層,令原建筑從3至5層,升高為8至13 層,而不拘原建筑地基層質(zhì)的硬軟。所加重量不壓在 原建筑物上,并使框架同原建筑整體化,兩種組合結(jié) 構(gòu)必須連結(jié),在基礎(chǔ)應(yīng)力疊加區(qū),要設(shè)防滑裝置,“

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    【摘要】本發(fā)明是一種金屬絲網(wǎng)增強(qiáng)無石棉鉆機(jī)剎車塊。它屬于有機(jī)基摩擦材料的改進(jìn)。它由金屬絲網(wǎng)片和無石棉有機(jī)基模塑料所組成。其特點(diǎn)是:具有足夠高的機(jī)械強(qiáng)度、生產(chǎn)成本低、原材料易得,安全可靠?!緦@愋汀堪l(fā)明授權(quán)【申請(qǐng)人】上海船用柴油機(jī)研究所;

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】關(guān)注公眾號(hào)馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)1.省略其它視圖。 2.冰棒的長度為120~210毫米之內(nèi),最好是180毫米?!緦@愋汀客庥^設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】澄江西龍?zhí)讹嬃蠌S【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】云南省澄江縣老干部局【申請(qǐng)人地區(qū)】中國【申請(qǐng)人城市】玉溪

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】一種全兼容鐵路無線列調(diào)通信系統(tǒng),該系統(tǒng)能滿足獨(dú)立同步、四頻切換、同頻單工三種通信制式。使機(jī)車在山區(qū)、平原、丘陵等多種復(fù)雜地形的運(yùn)行時(shí),自動(dòng)按照不同通信制式進(jìn)行組網(wǎng)通信,可完成機(jī)車在長交路輪乘制的情況下的通訊工作?!緦@愋汀堪l(fā)明授權(quán)

    發(fā)布時(shí)間:2026-03-26

    【摘要】本發(fā)明涉及金屬板材延伸率的測(cè)量裝置,是一種利用激光直接測(cè)量金屬板材在軋制之前和軋制后金屬板的運(yùn)行速度,從而獲得金屬板材延伸率值。該裝置主要由光機(jī)探頭以及信號(hào)處理和顯示部分組成,所述的光機(jī)探頭包括激光源,光學(xué)分束器,發(fā)射透鏡,接收透鏡

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