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用于隱埋異質(zhì)結(jié)激光器的伴生高阻層生長(zhǎng)方法

時(shí)間:2026-03-26    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本發(fā)明為一種制作GaAlAs隱埋異質(zhì)結(jié)激光器 的簡(jiǎn)單實(shí)用方法。本發(fā)明利用液相外延中的伴生現(xiàn)象獲得一伴生 高阻層來(lái)有效地限制器件的側(cè)向電流,從而使器件的 制作工藝簡(jiǎn)化、工作速度提高。其優(yōu)點(diǎn)在于方法簡(jiǎn) 單、容易實(shí)現(xiàn)、重復(fù)性好。適用于制作光電集成器 件。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】吉林大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】吉林省長(zhǎng)春市解放大路83號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】長(zhǎng)春市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】朝陽(yáng)區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N89108327.8 【申請(qǐng)日】1989-11-02 【申請(qǐng)年份】1989 【公開公告號(hào)】CN1051464A 【公開公告日】1991-05-15 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN1025137C 【授權(quán)公告日】1994-06-22 【授權(quán)公告年份】1994.0 【IPC分類號(hào)】H01S3/19; H01L33/00 【發(fā)明人】胡禮中; 劉式墉 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種用于GaAlAs隱埋異質(zhì)結(jié)激光器側(cè)向電流限制的方法,其特征在于僅用一槽源液且使之在晶片上只經(jīng)過(guò)一次而同時(shí)生成兩個(gè)晶體層,其中下層為伴生高阻層。。馬 克 數(shù) 據(jù) 網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】吉林大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】吉林省長(zhǎng)春市解放大路83號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】121000004232040648

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