【摘要】本發(fā)明型屬于節(jié)水拖布池，適用于一切使用自來 水的場合。本節(jié)水拖布池正常情況下，總是關(guān)閉排水 口，洗拖布時可用池內(nèi)廢水多次重復(fù)利用后再放掉， 由于把過去的直排水改為間接排水，節(jié)水80％左 右。同時，此拖布池不但滿足了人們不必赤手放、取
【摘要】 一種半導(dǎo)體硅表面清洗方法，屬于半導(dǎo)體硅器件 產(chǎn)生技術(shù)領(lǐng)域。它是在利用非離子表面活性劑和金 屬離子螯合劑為主劑的清洗劑清洗之后，再加一道利 用含微量HF酸的上述清洗劑清洗工序?；贖F酸能去除硅表面總是存在的一層SiO2 薄膜，該清洗方法能夠有效地清除寄存于SiO2中的 各種雜質(zhì)而具有比通常傳統(tǒng)方法更好的清洗效果，用 這種清洗方法制造的硅PW結(jié)，其反向擊穿電壓比 用通常傳統(tǒng)方法明顯提高。 詳見官網(wǎng)：www.macrodatas.cn 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】孫啟基; 丁永發(fā); 戴群; 陳子俊 【申請人類型】個人 【申請人地址】261041山東省濰坊市東風(fēng)大街43號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濰坊市 【申請人區(qū)縣】濰城區(qū) 【申請?zhí)枴緾N89106866.X 【申請日】1989-12-02 【申請年份】1989 【公開公告號】CN1052220A 【公開公告日】1991-06-12 【公開公告年份】1991 【IPC分類號】H01L21/02; H01L21/30 【發(fā)明人】孫啟基; 丁永發(fā); 戴群; 陳子俊 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種半導(dǎo)體硅表面的清洗方法，屬于半導(dǎo)體硅器件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，其特征是包括用含有微量BF酸的清洗劑清洗工序。 【當(dāng)前權(quán)利人】孫啟基; 丁永發(fā); 戴群; 陳子俊 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】山東省濰坊市東風(fēng)大街43號; ; ; 【被引證次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1.0
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://www.duba2008.cn/1774179891.html
喜歡就贊一下
