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簡(jiǎn)易高效硅片腐蝕杯

時(shí)間:2026-04-03    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 高效密封簡(jiǎn)易腐蝕杯為玻璃式石英玻璃制品。 由于在杯蓋與杯底間采用環(huán)形水槽密封取代了磨口 密封,杯蓋部為夾層冷凝蛇形管結(jié)構(gòu),保證了密封安 全可靠。蓋口處不受力,開合方便。不易損壞,部件 有良好的互換性。和同種材料磨口杯相比使用壽命 長(zhǎng),制作成本低。此結(jié)構(gòu)在化學(xué)、電化學(xué)、化工系統(tǒng)中 可廣泛取代磨口回流冷凝裝置。有較高的推廣應(yīng)用 價(jià)值。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】哈爾濱工業(yè)大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】150006黑龍江省哈爾濱市西大直街166號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】哈爾濱市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】南崗區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N90206331.6 【申請(qǐng)日】1990-04-28 【申請(qǐng)年份】1990 【公開公告號(hào)】CN2070036U 【公開公告日】1991-01-23 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號(hào)】CN2070036U 【授權(quán)公告日】1991-01-23 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號(hào)】H01L21/306; G03G15/00; H01L21/02 【發(fā)明人】武士香 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種硅片腐蝕杯,其密封結(jié)構(gòu)為磨口密封結(jié)構(gòu),本實(shí)用新型的特征在于采用帶裙邊的水環(huán)密封結(jié)構(gòu)取代原有的磨口結(jié)構(gòu),腐蝕杯由兩部分組成,下部杯體部分杯口處外圍有一環(huán)形槽,此槽的外緣高度略低于杯口高度,上部杯蓋底部邊緣為與上述環(huán)形槽相配合的止口,杯體側(cè)面留有一進(jìn)氣嘴,杯蓋部?jī)?nèi)有蛇形冷凝管并在杯蓋底開口。 【當(dāng)前權(quán)利人】哈爾濱工業(yè)大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】黑龍江省哈爾濱市西大直街166號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000456B 【被引證次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3.0

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