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大電流多弧斑受控真空電弧蒸發(fā)源

時(shí)間:2026-04-03    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 0 ) 次

【摘要】 本發(fā)明屬于薄膜沉積設(shè)備,是真空電弧離子鍍膜 機(jī)的核心部件。采用電磁線圈磁場控制電弧弧斑在 陰極表面上的運(yùn)動軌跡和速度,顯著減少了蒸發(fā)源發(fā) 射的金屬液滴,提高了鍍膜質(zhì)量。蒸發(fā)源在200A以 上的大電弧電流和與之相匹配的磁場下工作時(shí),電弧 弧根可分裂為幾個(gè)小的弧斑,在幾乎整個(gè)陰極表面上 作多軌跡旋轉(zhuǎn),使陰極表面燒蝕均勻,鍍膜沉積速率 提高2-3倍。采用環(huán)形陰極蒸發(fā)源,因橫向磁場的 增加,使弧斑旋轉(zhuǎn)速度更高,能基本消除蒸發(fā)源發(fā)射 的金屬液滴,陰極材料利用率更高。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院電工研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N91103541.9 【申請日】1991-06-01 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055774A 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1029568C 【授權(quán)公告日】1995-08-23 【授權(quán)公告年份】1995.0 【IPC分類號】C23C14/32 【發(fā)明人】吳振華; 黃經(jīng)筒; 游本章; 任俠 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種大電流多弧斑受控真空電弧蒸發(fā)源,由主弧電源,陰極和含電磁線圈的磁路結(jié)構(gòu)組成,其特征在于,主電弧電源為能使弧根分裂為幾個(gè)整個(gè)陰極表面作多軌跡旋轉(zhuǎn)的小弧斑的大電流電源;電磁線圈為可在陰極表面上產(chǎn)生使弧斑在陰極表面上快速旋轉(zhuǎn)的橫向磁場分量和使弧斑向陰極表面中心聚焦的縱向磁場分量的可調(diào)電流的電磁線圈;含電磁線圈的磁路結(jié)構(gòu)由線圈(11)和由導(dǎo)磁材料制成的導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21)、導(dǎo)磁筒(20)、陰極座法蘭(17)、陰極筒體(12)、可拆卸陰極法蘭(10)、陰極壓板(9)、下導(dǎo)磁環(huán)(6b)或(6d)、上導(dǎo)磁環(huán)(6a)或(6c)以及陰極(3)組成,繞制在線圈骨架(5)上的線圈(11)套在導(dǎo)磁筒(20)外周,上端放在水密封蓋(4)位于陰極極筒體(12)內(nèi)部,陰極筒體(12)下端面和陰極座法蘭(17)相接,上端放有陰極(3),陰極座法蘭(17)內(nèi)部設(shè)有以防法蘭過熱并保護(hù)密封圈不因過熱而變質(zhì)并和陰極筒體(12)中的兩個(gè)通水孔(27)相通的水冷空腔(28),底部開有和端面垂直的盲孔,盲孔中裝有和水冷空腔(28)相通的冷卻水管(26),由導(dǎo)磁或非導(dǎo)磁材料制成的對陰極(3)絕緣的屏蔽(7)點(diǎn)焊在上導(dǎo)磁環(huán)(6a)或(6c)上,并由3個(gè)屏蔽極支撐螺桿(13)固定在主支撐桿(14)上,主支撐桿(14)由螺釘固定在位于陰極座法蘭(17)上端面的絕緣密封法蘭板(16)上,帶內(nèi)螺紋的下導(dǎo)磁環(huán)(6b)和帶外螺紋的上導(dǎo)磁環(huán)(6a)螺紋連結(jié),陰極(3)經(jīng)過燒蝕變短后,調(diào)節(jié)屏蔽支撐(13)和下導(dǎo)磁環(huán)(6b)或(6d)可調(diào)節(jié)屏蔽(7)和陰極(3)的相對位置,高溫絕緣屏蔽環(huán)(2)鑲嵌在上導(dǎo)磁環(huán)(6a)內(nèi),點(diǎn)弧極(1)由緊固螺釘固定在點(diǎn)弧極支撐桿(8)上,點(diǎn)弧極支撐桿(8)可直接固定在電磁鐵或氣動元件(圖中未標(biāo)出)的活動部位上,導(dǎo)磁筒(20)的內(nèi)孔和陰極座法蘭(17)的內(nèi)孔中套有導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21),并用螺母將導(dǎo)磁筒(20)、線圈(11)、水密封蓋(4)固定在陰極座法蘭(17)上的陰極筒體(12)內(nèi),同時(shí),還將墊圈(22)、密封圈(23)、導(dǎo)電片(24)固定在導(dǎo)磁導(dǎo)電桿(21)的下端。 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院電工研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條6號 【統(tǒng)一社會信用代碼】121000004000124147 【引證次數(shù)】4.0 【被引證次數(shù)】20.0 【他引次數(shù)】4.0 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】19.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】21.0

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