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一種反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置

時間:2026-04-05    作者:admin 點擊: ( 2 ) 次

【摘要】 本實用新型涉及一種反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置?,F(xiàn)有的反應(yīng)腔在清掃內(nèi)壁時只有拆開反應(yīng)腔才能進行內(nèi)壁清掃,致使清掃過程復(fù)雜、用時過長、浪費人力且污染環(huán)境。本實用新型的反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置,包括一設(shè)置在該反應(yīng)腔內(nèi)的清掃單元、一驅(qū)動該清掃單元清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的驅(qū)動單元以及一設(shè)置在該反應(yīng)腔底端且與反應(yīng)腔連通的收集單元。采用本實用新型的反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置能簡化清掃過程且節(jié)約人力及清掃時間,并使清掃過程清潔無污染。。 (macrodatas.cn) 【專利類型】實用新型 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620049606.5 【申請日】2006-12-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200984581Y 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200984581Y 【授權(quán)公告日】2007-12-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】B08B9/20; B08B9/36; H01L21/00 【發(fā)明人】趙春波 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種反應(yīng)腔內(nèi)壁清掃裝置,其特征在于,該裝置包括一設(shè)置在該反應(yīng)腔 內(nèi)用以清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的清掃單元、一驅(qū)動該清掃單元清掃反應(yīng)腔內(nèi)壁的驅(qū)動 單元以及一設(shè)置在該反應(yīng)腔底端且與反應(yīng)腔連通的收集單元。 【當前權(quán)利人】中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當前專利權(quán)人地址】北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號 【專利權(quán)人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3

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    【摘要】平面產(chǎn)品,后視圖無圖案,省略后視圖?!緦@愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海黎輝絨繡藝術(shù)有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201300上海市南匯區(qū)南匯工業(yè)園區(qū)滬南路9828號307室6號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人

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    【摘要】一種軸承加載裝置,由壓圈、用于軸定位的擋圈、 支撐圈、加載螺釘和加載測力傳感器組成。軸承置于支撐圈內(nèi), 加載螺釘均布于壓圈上,并穿過支撐圈與擋圈螺接,通過控制 壓圈上的加載螺釘旋緊程度控制對軸承的加載力,加載力的大 小和均勻性由加載

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