【摘要】鑄鐵機(jī)械性能快速測定法是用于快速測定鑄鐵的機(jī)械性能的，其特征在于，它以液相線溫度TL、微分分析曲線上初晶轉(zhuǎn)變后的最大冷卻速度KB和共晶轉(zhuǎn)變開始至共晶轉(zhuǎn)變峰點(diǎn)之間的時(shí)間間隔t3之和為其特征值，這樣可以較好地抵消澆注溫度的波動對機(jī)械性能
【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種集成電路制造中提高對準(zhǔn)精度的測試結(jié)構(gòu)，內(nèi)外對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)為正多邊形。其有益效果是不僅支持半導(dǎo)體工藝中普遍采用的X軸、Y軸兩維測試，更能夠滿足先進(jìn)的對角線布局設(shè)計(jì)的需求，測試對角傾斜方向的套準(zhǔn)表現(xiàn)，大大減少了數(shù)據(jù)處理運(yùn)算時(shí)間并提高了相應(yīng)的精度，且多邊邊界分離的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)提高了圖形對比度。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620042880.X 【申請日】2006-06-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200983364Y 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200983364Y 【授權(quán)公告日】2007-11-28 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L27/00; H01L23/544 【發(fā)明人】朱駿 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】權(quán)利要求書 1.一種集成電路制造中提高對準(zhǔn)精度的測試結(jié)構(gòu)，包括內(nèi)外相互嵌 套且中心重合的兩部分對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)，其特征在于：內(nèi)部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)為 正多邊形，其邊數(shù)至少為八，相應(yīng)地，外部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)也為正多邊 形，其邊數(shù)與內(nèi)部對準(zhǔn)結(jié)構(gòu)多邊形的邊數(shù)一致。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海集成電路研發(fā)中心有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市張江高科技園區(qū)碧波路177號華虹科技園4樓 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(國有控股) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115745635158X 【被引證次數(shù)】6 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6
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