【摘要】本發(fā)明提供了一種消除光刻膠中氣泡的方法，具體工藝步驟為：對(duì)晶片進(jìn)行第一次烘焙；沉積凸點(diǎn)下金屬層；形成光刻膠層；進(jìn)行第二次烘焙。使用上述的方法能消除具有各種結(jié)構(gòu)的晶片表面的氣泡，消除率達(dá)到99.9％。本發(fā)明還提供一種消除了光刻膠中氣泡
【摘要】 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種一種高純度壓縮氣體發(fā)生系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一電器控制器以及空氣壓縮裝置、冷卻裝置、水氣分離裝置、過(guò)濾器裝置及儲(chǔ)氣裝置，其中，所述空氣壓縮裝置包括壓縮機(jī)及油 氣分離器；所述冷卻裝置包括磁力泵及冷卻器；所述水氣分離裝置包括第一水氣分離器和第二水氣分離器，它們前后連接；所述過(guò)濾器裝置包括油過(guò)濾器和精過(guò)濾器，它們前后串接于一集成塊上；所述儲(chǔ)氣裝置包括一儲(chǔ)氣罐、安全閥和閥門，安全閥和閥門設(shè)在儲(chǔ)氣罐本體上。本實(shí)用新型所產(chǎn)生的氣體壓力高，所產(chǎn)生的氣體不含油、不含水，氣體純度高，產(chǎn)氣速度快，工作時(shí)噪音低，性能穩(wěn)定，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】張禮明 【申請(qǐng)人類型】個(gè)人 【申請(qǐng)人地址】200080上海市廣靈二路洛陽(yáng)新村1號(hào)乙601室 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】虹口區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620040812.X 【申請(qǐng)日】2006-04-05 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN2916184Y 【公開(kāi)公告日】2007-06-27 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2916184Y 【授權(quán)公告日】2007-06-27 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】F04B37/12; F04B39/04; F04B39/06; F04B39/16; F04B41/02; F04B49/08; F04B49/06; F04B37/00; F04B41/00 【發(fā)明人】張禮明 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種高純度壓縮氣體發(fā)生系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一電器控制器以及空 氣壓縮裝置、冷卻裝置、水氣分離裝置、過(guò)濾器裝置及儲(chǔ)氣裝置，其特征 在于， 所述空氣壓縮裝置包括壓縮機(jī)及油氣分離器，壓縮機(jī)進(jìn)氣口將常態(tài)空 氣通過(guò)管路引進(jìn)，出氣口通過(guò)管路連接油氣分離器的進(jìn)氣口； 所述冷卻裝置包括磁力泵及冷卻器，冷卻器連通油氣分離器的出氣管 及壓縮機(jī)的出油管，磁力泵的進(jìn)油管連通冷卻器的出油管，出油管連通壓 縮機(jī)的進(jìn)油管； 所述水氣分離裝置包括第一水氣分離器和第二水氣分離器，它們前后 連接，第一水氣分離器進(jìn)氣口連接冷卻器的出氣管，第二水氣分離器進(jìn)氣 口通過(guò)管路連接第一水氣分離器的出氣口； 所述過(guò)濾器裝置包括油過(guò)濾器和精過(guò)濾器，它們前后串接于一集成塊 上，集成塊進(jìn)氣口通過(guò)管路連接第二水氣分離器的出氣口； 所述儲(chǔ)氣裝置包括一儲(chǔ)氣罐、安全閥和閥門，儲(chǔ)氣罐進(jìn)氣口通過(guò)管路 連接集成過(guò)濾器的出氣口，安全閥和閥門設(shè)在儲(chǔ)氣罐本體上。 馬-克-數(shù)據(jù) 【當(dāng)前權(quán)利人】張禮明 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市廣靈二路洛陽(yáng)新村1號(hào)乙601室 【被引證次數(shù)】7 【被他引次數(shù)】7.0 【家族被引證次數(shù)】7
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