【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請人】上海信誠至典網(wǎng)絡(luò)技術(shù)有限公司; 九江3T數(shù)字投影技術(shù)發(fā)展有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)昭化路357號(hào)B棟底樓B室【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】長寧區(qū)【申請
【摘要】 本發(fā)明涉及一種工作在扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的諧振式微機(jī)械懸臂梁傳感器及其電磁激勵(lì)結(jié)構(gòu)、制作方法及應(yīng)用。其特征在于通過采用與懸臂梁扭轉(zhuǎn)諧振模態(tài)的振形相匹配的優(yōu)化布置電磁激勵(lì)線圈，產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩激勵(lì)起懸臂梁的扭轉(zhuǎn)模態(tài)，即依據(jù)扭轉(zhuǎn)模態(tài)振形曲線的極值位移點(diǎn)和不發(fā)生位移的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)位置布置驅(qū)動(dòng)線圈，使交變驅(qū)動(dòng)電流在各處均產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩，使驅(qū)動(dòng)方式與扭轉(zhuǎn)模態(tài)的振形完全匹配。本發(fā)明特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、制作方便、容易實(shí)現(xiàn)。所述的傳感器用于對肝癌早期預(yù)警的AFP抗原痕量檢測一階和二階的扭轉(zhuǎn)模態(tài)檢測分辨率分別為3×10－14克和9×10－15克。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號(hào) 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147846.3 【申請日】2006-12-22 【申請年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1994860A 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN1994860B 【授權(quán)公告日】2011-04-20 【授權(quán)公告年份】2011.0 【IPC分類號(hào)】B81B3/00; B81C5/00; B81C1/00; G01N13/00; B81C99/00 【發(fā)明人】金大重; 李昕欣 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種扭轉(zhuǎn)模態(tài)下的硅微機(jī)械懸臂梁傳感器的電磁激勵(lì)驅(qū)動(dòng)方式，其 特征在于通過采用與懸臂梁扭轉(zhuǎn)諧振模態(tài)的振形相匹配的優(yōu)化布置電磁激 勵(lì)線圈，產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲力力矩激勵(lì)起懸臂梁的扭轉(zhuǎn)模 態(tài)，即依據(jù)扭轉(zhuǎn)模態(tài)振形曲線的極值位移點(diǎn)和不發(fā)生位移的振動(dòng)節(jié)點(diǎn)位置布 置驅(qū)動(dòng)線圈，使交變驅(qū)動(dòng)電流在各處均產(chǎn)生與懸臂梁扭轉(zhuǎn)方向相同的洛侖茲 力力矩，使驅(qū)動(dòng)方式與扭轉(zhuǎn)模態(tài)的振形完全匹配。。來源：百度馬 克 數(shù)據(jù)網(wǎng) 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】7 【被自引次數(shù)】3.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】7
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