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一種全光學微機械非致冷紅外熱成像芯片結(jié)構及制作方法

時間:2026-04-06    作者:admin 點擊: ( 1 ) 次

【摘要】 本發(fā)明涉及一種全光學微機械非致冷紅外熱成像芯片的結(jié)構及制作方法,所述的非制冷紅外熱成像芯片是由框架、彎折梁、可動微鏡和長條形開口組成,其中,框架與中間懸浮的可動微 鏡構成像素元的冷結(jié)區(qū)和熱結(jié)區(qū);彎折梁連接框架和可動微鏡;彎折梁由作為結(jié)構的主要支撐材料的非金屬層、上金屬層和下金屬層組成,上金屬層與非金屬層構成雙材料層使梁發(fā)生偏轉(zhuǎn),下金屬層調(diào)節(jié)熱導;長條形開口是在可動微鏡上刻蝕的腐蝕窗口。利用〔100〕單晶硅各向異性腐蝕特性采用與(100)方向平行的開口通過正面腐蝕實現(xiàn)光機械敏感元結(jié)構。由于芯片采用光學讀出,不需要復雜的讀出電路和致冷設備,具有價格低、體積小、功耗小等優(yōu)勢,特別適合制作佩戴式熱成像系統(tǒng)。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】200050上海市長寧區(qū)長寧路865號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】長寧區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610147625.6 【申請日】2006-12-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1994861A 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN1994861B 【授權公告日】2011-01-19 【授權公告年份】2011.0 【IPC分類號】B81B7/02; B81B5/00; B81C1/00; B81B7/00 【發(fā)明人】李鐵; 周玉修; 王翊; 熊斌; 王躍林 【主權項內(nèi)容】1、一種全光學微機械非制冷紅外熱成像芯片結(jié)構,其特征在于:所述 的非制冷紅外熱成像芯片是由框架(1)、彎折梁(2)、可動微鏡(3)和 長條形開口(4)組成,其中, (a)框架(1)與中間懸浮的可動微鏡(3)構成像素元的冷結(jié)區(qū)和熱 結(jié)區(qū); (b)彎折梁(2)連接框架(1)和可動微鏡(3); (c)彎折梁(2)由非金屬層(5)、上金屬層(6)和下金屬層(7) 組成,非金屬層(5)作為結(jié)構的主要支撐材料,上金屬層(6)與非金屬層 (5)構成雙材料層使梁發(fā)生偏轉(zhuǎn),下金屬層(7)調(diào)節(jié)熱導; (d)長條形開口(4)是在可動微鏡(3)上刻蝕的腐蝕窗口。 【當前權利人】中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所 【當前專利權人地址】上海市長寧區(qū)長寧路865號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000425006790C 【被引證次數(shù)】1 【被他引次數(shù)】1.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】1

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