【摘要】本發(fā)明涉及一種與CMOS工藝兼容的嵌入懸浮 螺管結(jié)構(gòu)電感或互感的制作方法,其特征在于首先在硅片的表 面電鍍出電感或互感的上導(dǎo)線,再利用各向異性腐蝕形成“V” 字形或倒梯形的溝槽,在溝槽里面制作電感或互感的下導(dǎo)線, 并使下導(dǎo)線與上導(dǎo)線
【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海長富玩具有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201107上海市閔行區(qū)紀(jì)王鎮(zhèn)紀(jì)鶴路2號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630038350.3 【申請日】2006-06-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3650446D 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3650446D 【授權(quán)公告日】2007-05-30 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】趙元明 【主權(quán)項內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海長富玩具有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)紀(jì)王鎮(zhèn)紀(jì)鶴路2號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】9131011263189950XF
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