【摘要】馬-克-數(shù)據(jù)本發(fā)明涉及一種電子束曝光中套刻工藝的實(shí)現(xiàn) 方法，屬于微電子領(lǐng)域。其特征在于將套刻標(biāo)志放置于曝光圖 形的中央，而后利用電鏡放大倍數(shù)的縮放來實(shí)現(xiàn)套刻。傳統(tǒng)的 套刻技術(shù)是將對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記和圖形結(jié)構(gòu)的位置獨(dú)立開來，但是這需 要較為昂貴
【摘要】 1.請(qǐng)求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含有色彩。 2.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品為平面產(chǎn)品，省略其他視圖。 3.單元圖案四方連續(xù)，無限定邊界。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海聯(lián)樂實(shí)業(yè)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201112上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630035100.4 【申請(qǐng)日】2006-03-31 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN3624994D 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3624994D 【授權(quán)公告日】2007-03-28 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】趙茂祥 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海聯(lián)樂實(shí)業(yè)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)聯(lián)星路281號(hào) 【專利權(quán)人類型】其他有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310112133374145M
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