【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】東華大學; 上海海林實業(yè)有限公司【申請人類型】企業(yè),學?！旧暾埲说刂贰?00051上海市延安西路1882號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】長寧區(qū)【申請?zhí)枴緾N200630042071.4【申
【摘要】 一種熱蒸發(fā)法合成小直徑單晶SiC納米絲有序陣列的方法，屬于納米材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用硅片作為反應(yīng)襯底和硅源，以固態(tài)碳材料為前驅(qū)體，以ZnS粉末為輔助劑，以惰性氣體氬氣為保護氣體及載氣，進行氧化還原反應(yīng)，從而在硅片上成核并生長成大量小直徑單晶有序排列的SiC納米絲陣列。本發(fā)明工藝簡單易行，成本低廉，對環(huán)境無污染，采用惰性氣體保護，無明顯易燃危險原料，氣體價格低廉；收率高，可以連續(xù)化操作。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610148218.7 【申請日】2006-12-28 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101003912A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100415952C 【授權(quán)公告日】2008-09-03 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號】C30B29/36; C30B29/62; C30B25/00; C01B31/36; C30B29/10; C01B31/00; C30B29/00 【發(fā)明人】?？〗? 王健農(nóng) 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種熱蒸發(fā)法合成小直徑單晶SiC納米絲有序陣列的方法，其特征在于， 采用硅片作為反應(yīng)襯底和硅源，以固態(tài)碳材料為前驅(qū)體，以ZnS粉末為輔助劑， 以惰性氣體氬氣為保護氣體及載氣，進行氧化還原反應(yīng)，從而在硅片上成核并生 長成大量小直徑單晶有序排列的SiC納米絲陣列。 【當前權(quán)利人】上海交通大學 【當前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】4 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】2.0 【家族被引證次數(shù)】4
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