【摘要】省略其他視圖?！緦＠愋汀客庥^設(shè)計【申請人】上海麗琴文化用品有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201109上海市閔行區(qū)放鶴路2438號【申請人地區(qū)】中國【申請人城市】上海市【申請人區(qū)縣】閔行區(qū)【申請?zhí)枴緾N2006300340
【摘要】 本發(fā)明涉及一種簡支梁型微電子機(jī)械系統(tǒng)探卡 及其制備方法，采用UV－LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針，在探針結(jié)構(gòu)上采用簡支梁代替目前的懸臂 梁，以承受和產(chǎn)生更大的刺穿氧化膜應(yīng)力，并通過設(shè)計簡支梁 的厚度來調(diào)節(jié)探針的位移。本發(fā)明的探卡由按照芯片引腳分布 而排布的簡支梁陣列實現(xiàn)，探針在簡支梁的中間，并保證針尖 的位置與相應(yīng)的芯片引腳位置一致。簡支梁的底端為電鍍的金 屬引線，引線從簡支梁底端向探針外圍四周延伸，通過點焊連 接到對應(yīng)的印刷電路 板上，從而連通從探針到測試機(jī)臺的信號電路。本發(fā)明工藝簡 單，成品率高，能很好的控制探針形狀尺寸，套刻精度高，適 于大規(guī)模生產(chǎn)。 來源：百度搜索馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610117283.3 【申請日】2006-10-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1936593A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100445750C 【授權(quán)公告日】2008-12-24 【授權(quán)公告年份】2008.0 【發(fā)明人】靖向萌; 陳迪; 張曄; 黃闖; 陳翔; 劉景全 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種簡支梁型微電子機(jī)械系統(tǒng)探卡，包括基片(1)、金屬引線(2)和 探針(4)，其特征在于還包括基片上的簡支梁(3)，所述簡支梁(3)按照測試 芯片引腳的分布位置而陣列排布，探針(4)位于簡支梁(3)的中間上端，探 針(4)針尖的位置與相應(yīng)的芯片引腳位置一致，簡支梁(3)底端的金屬引線 (2)通過點焊連接到插在測試機(jī)臺接口的印刷電路板，從而連通從探針(4) 到測試機(jī)臺的信號電路。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】11 【被自引次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】11
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