【摘要】一種半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域的基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)。本發(fā)明中,傳感器模塊將檢測(cè)到的硅片信息連接到信號(hào)調(diào)理模塊,信號(hào)調(diào)理模塊對(duì)硅片信息進(jìn)行調(diào)理,調(diào)理后的信號(hào)連接到數(shù)據(jù)采集模塊,數(shù)據(jù)采集模塊將信號(hào)調(diào)理模塊調(diào)理后的信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)
【摘要】 1.請(qǐng)求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含有色彩。 2.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品為平面產(chǎn)品,省略其他視圖。 3.單元圖案四方連續(xù),無(wú)限定邊界。 【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海題橋紡織染紗有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201114上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路519號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630038898.8 【申請(qǐng)日】2006-07-12 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN3650643D 【公開(kāi)公告日】2007-05-30 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN3650643D 【授權(quán)公告日】2007-05-30 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】董勤霞; 潘玉明; 彭繼芝 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海題橋紡織染紗有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)浦江鎮(zhèn)立躍路519號(hào) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(自然人投資或控股) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】913101126320066543
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