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非接觸式微轉(zhuǎn)子振動位移的激光測量方法

時(shí)間:2026-04-08    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 2 ) 次

【摘要】 一種非接觸式微轉(zhuǎn)子振動位移的激光測量方法, 屬于微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明利用發(fā)射器發(fā)射激光光帶掃描運(yùn) 動狀態(tài)中的微轉(zhuǎn)子,微轉(zhuǎn)子在 高速運(yùn)轉(zhuǎn)下的運(yùn)動軌跡的投影記錄用CCD位移傳感器及圖像 采集卡采集微轉(zhuǎn)子運(yùn)動圖像再運(yùn)用圖像處理技術(shù)來得到振動 信號,其中:采用硬件系統(tǒng)負(fù)責(zé)微轉(zhuǎn)子的高速運(yùn)轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速 的穩(wěn)定可控,轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的振動圖像信號的采集;采用軟件系統(tǒng) 對采集得到的圖像信號進(jìn)行處理,提取圖像中特征點(diǎn)的位移變 化,從而得到微轉(zhuǎn)子上固定點(diǎn)的運(yùn)動軌跡。本發(fā)明機(jī)構(gòu)簡單, 原理明確,測振效果好,精度高,且對微電機(jī)轉(zhuǎn)子系統(tǒng)振動本 身的影響幾乎可以忽略。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】上海交通大學(xué) 【申請人類型】學(xué)校 【申請人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610026843.4 【申請日】2006-05-25 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1924537A 【公開公告日】2007-03-07 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100523767C 【授權(quán)公告日】2009-08-05 【授權(quán)公告年份】2009.0 【發(fā)明人】張文明; 孟光; 李鴻光; 陳迪; 周健斌 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】詳見官網(wǎng):www.macrodatas.cn 1、一種非接觸式微轉(zhuǎn)子振動位移的激光測量方法,其特征在于,將被測微 電機(jī)安裝在試驗(yàn)臺上,利用發(fā)射器發(fā)射激光光帶掃描運(yùn)動狀態(tài)中的微轉(zhuǎn)子,微 轉(zhuǎn)子在高速運(yùn)轉(zhuǎn)下的運(yùn)動軌跡的投影記錄用CCD位移傳感器及圖像采集卡采集 微轉(zhuǎn)子運(yùn)動圖像再運(yùn)用圖像處理技術(shù)來得到振動信號,其中:采用硬件系統(tǒng)負(fù) 責(zé)微轉(zhuǎn)子的高速運(yùn)轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)對微轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速控制以及轉(zhuǎn)子運(yùn)動圖像信號采集;采 用軟件系統(tǒng)對采集得到的圖像進(jìn)行圖像信號處理,提取圖像中特征點(diǎn)的位移變 化,從而得到微轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的運(yùn)動軌跡與振動特性。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號 【統(tǒng)一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE

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