【摘要】以氧化鋁為載體，銅、鋅為主成分，鎳、堿金屬或者堿土金屬元素為添加成分，并采用浸漬法制備了一種負載型非貴金屬催化劑體系。對于甲醇分解反應，該催化劑體系具有優(yōu)良的低溫反應活性，選擇性和耐高溫性能。在100小時的連續(xù)運轉(zhuǎn)中，催化劑性能穩(wěn)定
【摘要】 一種在NPN型硅臺面高反壓管生產(chǎn)中的擴鎵工藝，屬于NPN型硅臺面高反壓管生產(chǎn)工藝。將拋光、氧化后的硅片置于擴散爐里進行開管擴鎵，先采用低濃度鎵摻雜，結(jié)深推移，后表面高濃度鎵摻雜，兩者在同一爐內(nèi)連續(xù)完成以形成P型基區(qū)，在磷擴散再分布后再進行低溫短時間補鎵。鎵雜質(zhì)源由潮濕氫氣攜帶。本發(fā)明工藝簡單，彌補了已有工藝的不足，產(chǎn)品電參數(shù)有較大輻度提高，且一致性好。 （來源 馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)） 【專利類型】發(fā)明授權(quán) 【申請人】山東師范大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】山東省濟南市文化東路 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】濟南市 【申請人區(qū)縣】歷下區(qū) 【申請?zhí)枴緾N88105238.8 【申請日】1988-04-02 【申請年份】1988 【公開公告號】CN1011932B 【公開公告日】1991-03-06 【公開公告年份】1991 【授權(quán)公告號】CN1011932B 【授權(quán)公告日】1991-03-06 【授權(quán)公告年份】1991.0 【IPC分類號】H01L21/223; H01L21/02; H01L21/225 【發(fā)明人】林玉松; 李萍 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種在NPN型硅臺面高反壓管生產(chǎn)中的擴 鎵工藝，將拋光、氧化后的硅片置于擴散里進行開 管擴鎵，本發(fā)明的特征是，先采用低濃度鎵摻雜， 結(jié)深推移，后表面高度鎵摻雜，兩者在同一爐內(nèi)連 續(xù)完成以形成P型基區(qū)，在磷擴散再分布后再進 行低溫短時間補鎵，鎵雜質(zhì)源由潮濕氫氣體攜帶。 【當前權(quán)利人】山東師范大學 【當前專利權(quán)人地址】山東省濟南市文化東路 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會信用代碼】1237000049557382XT 【家族被引證次數(shù)】2.0
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