【摘要】本發(fā)明是“搖轉式少齒差行星減速機”的齒輪減速裝置及其制造方法。該減速裝置中的“變換器”齒輪部件中心線與輸入軸中心線之間有一固定的夾角?！白儞Q器”中的一個外齒輪裝于輸入軸的偏心軸頸上并與一個固定在殼體上的齒數(shù)較多的內(nèi)齒圈嚙合，另一個外
【摘要】 本發(fā)明提供了一種消除光刻膠中氣泡的方法，具體工藝步驟為：對晶片進行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。使用上述的方法能消除具有各種結構的晶片表面的氣泡，消除率達到99.9％。本發(fā)明還提供一種消除了光刻膠中氣泡的凸點制作方法，以提高凸點制作工藝的良品率。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610026756.9 【申請日】2006-05-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101078890A 【公開公告日】2007-11-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN101078890B 【授權公告日】2010-11-10 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G03F7/26; H01L21/00 【發(fā)明人】梅娜; 王津洲 【主權項內(nèi)容】1.一種消除光刻膠中氣泡的方法，其特征在于包括下列步驟：對晶片進 行第一次烘焙；沉積凸點下金屬層；形成光刻膠層；進行第二次烘焙。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【當前專利權人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號 【專利權人類型】有限責任公司(外國法人獨資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【引證次數(shù)】2.0 【被引證次數(shù)】7 【他引次數(shù)】2.0 【被自引次數(shù)】2.0 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】7
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