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鉭噴絲頭表面化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜強(qiáng)化方法

時(shí)間:2026-04-06    作者:admin 點(diǎn)擊: ( 1 ) 次

【摘要】 一種鉭噴絲頭表面化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜強(qiáng) 化方法,步驟如下:a.將鉭噴絲頭置于含金剛石微粉的酒精懸 浮液中,采用超聲打磨,再用丙酮與酒精分別超聲清洗鉭噴絲 頭表面,以此作為鉭噴絲頭CVD法沉積金剛石薄膜前的表面 預(yù)處理;b.CVD法沉積金剛石薄膜,沉積過程中,碳源濃度1 -4%,氣壓0.5-5kpa,襯底溫度600-900℃,沉積時(shí)間控制 在0.5-2h。本發(fā)明方法工藝較簡單,可控性強(qiáng),可用于各種 形狀的噴絲頭表面,且極大提高了鉭噴絲頭表面的硬度及耐堿 腐蝕能力,并能有效控制由于溫度差而產(chǎn)生的局部熱應(yīng)力,沉 積金剛石薄膜后的噴絲頭紡絲質(zhì)量和使用壽命都得到了提高。 來自馬克數(shù)據(jù)網(wǎng) 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】上海交通大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】200240上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610027989.0 【申請(qǐng)日】2006-06-22 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1896303A 【公開公告日】2007-01-17 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100443629C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號(hào)】C23C16/27; D01D4/02; C23C16/26; D01D4/00 【發(fā)明人】姚錦元; 王裕超 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種鉭噴絲頭表面化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜強(qiáng)化方法,其特征在于,步 驟如下: a、將鉭噴絲頭置于含金剛石微粉的酒精懸浮液中,采用超聲打磨,再用丙 酮與酒精分別超聲清洗鉭噴絲頭表面,以此作為鉭噴絲頭CVD法沉積金剛石薄 膜前的表面預(yù)處理; b、CVD法沉積金剛石薄膜,沉積過程中,碳源濃度1-4%,氣壓0.5-5kpa, 襯底溫度600-900℃,沉積時(shí)間控制在0.5-2h。 【當(dāng)前權(quán)利人】上海交通大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)東川路800號(hào) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數(shù)】10 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】10

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