【摘要】一種半導(dǎo)體光刻技術(shù)領(lǐng)域的基于多傳感器數(shù)據(jù)融合的硅片預(yù)定位系統(tǒng)。本發(fā)明中,傳感器模塊將檢測到的硅片信息連接到信號調(diào)理模塊,信號調(diào)理模塊對硅片信息進(jìn)行調(diào)理,調(diào)理后的信號連接到數(shù)據(jù)采集模塊,數(shù)據(jù)采集模塊將信號調(diào)理模塊調(diào)理后的信號轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)
【摘要】 1.薄型產(chǎn)品,故省略其它視圖。 2.請求保護(hù)的外觀設(shè)計包含色彩。 【專利類型】外觀設(shè)計 【申請人】上海仙裳工貿(mào)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201108上海市閔行區(qū)銀都路2988號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630047270.4 【申請日】2006-12-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN300720860D 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN300720860D 【授權(quán)公告日】2007-12-19 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】金曉紅 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海仙裳工貿(mào)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)銀都路2988號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310112703336635E
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