【摘要】一種熱蒸發(fā)法合成小直徑單晶SiC納米絲有序陣列的方法,屬于納米材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用硅片作為反應(yīng)襯底和硅源,以固態(tài)碳材料為前驅(qū)體,以ZnS粉末為輔助劑,以惰性氣體氬氣為保護(hù)氣體及載氣,進(jìn)行氧化還原反應(yīng),從而在硅片上成核并生長(zhǎng)成大量
【專(zhuān)利類(lèi)型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海泛太工藝品有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】200237上海市閔行區(qū)虹梅南路1568號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630040732.X 【申請(qǐng)日】2006-09-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN300684969D 【公開(kāi)公告日】2007-08-29 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN300684969D 【授權(quán)公告日】2007-08-29 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】王章成 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海泛太工藝品有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)虹梅南路1568號(hào) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】9131000060727231X1
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