【摘要】一種多層分沙機(jī)，有分級(jí)篩子(3)和支架(5)，支架底部裝有移動(dòng)輪(7)，在支架(5)內(nèi)從上到下按疏到密布置有按一定斜度呈∧形布置的多層分級(jí)篩子(3)，最上面一層的分級(jí)篩子上方為入料口(1)，入料口處有一個(gè)噴水口(2)，最下面一層的分
【摘要】 本發(fā)明提供一種低溫雙離子束濺射Ge/Si多層膜自組織Ge量子點(diǎn)的制備方法，使用氬(Ar)氣作為工作氣體，包括兩個(gè)離子束濺射槍，其特征在于在工作室本底真空壓強(qiáng)小于3.0×10－4Pa，基片溫度為200℃～400℃，工作氣體(Ar)真空度為1.0×10－2Pa～4.0×10－2Pa的條件下，用雙離子束濺射技術(shù)在硅(Si)基底材料上交替濺射沉積Si空間層和Ge量子點(diǎn)層。它利用前一層Ge量子點(diǎn)所產(chǎn)生的表面應(yīng)變勢場作用，實(shí)現(xiàn)后續(xù)層Ge量子點(diǎn)的有序生長，提高了薄膜表面平整度和成膜質(zhì)量，獲得了高密度、尺寸均勻、能滿足量子尺寸效應(yīng)的Ge/Si多層膜自組織Ge量子點(diǎn)，解決了與集成電路工藝技術(shù)相兼容的問題，且生產(chǎn)成本低，易于工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)。 來源：馬 克 團(tuán) 隊(duì) 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】云南大學(xué) 【申請(qǐng)人類型】學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】650091云南省昆明市五華區(qū)翠湖北路2號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國 【申請(qǐng)人城市】昆明市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】五華區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610048899.X 【申請(qǐng)日】2006-12-11 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN1974837A 【公開公告日】2007-06-06 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100537831C 【授權(quán)公告日】2009-09-09 【授權(quán)公告年份】2009.0 【發(fā)明人】楊宇; 孔令德; 宋超; 張曙 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種低溫雙離子束濺射Ge/Si多層膜自組織Ge量子點(diǎn)的制備方法， 包括離子束真空濺射，并使用氬(Ar)氣作為工作氣體，其特征在于在生 長室本底壓強(qiáng)小于3.0×10-4Pa，基片溫度為200℃～400℃，工作氣體(Ar) 壓強(qiáng)為1.0×10-2Pa～4.0×10-2Pa的條件下，用雙離子束在硅(Si)基片上 交替濺射沉積Si空間層和Ge量子點(diǎn)層。 【當(dāng)前權(quán)利人】云南大學(xué) 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】云南省昆明市呈貢區(qū)大學(xué)城東外環(huán)南路 【專利權(quán)人類型】公立 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】125300004312032649 【被引證次數(shù)】TRUE 【家族被引證次數(shù)】TRUE
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